雷射干涉儀及配套軟體是一種用於動力與電氣工程、管理學領域的科學儀器，於2015年12月18日啟用。
（5）數控工具機動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟體，可用雷射干涉儀進行工具機振動測試與分析（FFT），滾珠絲槓的動態特性分析，伺服驅動系統的回響特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。技術參數 5D/6D標準型：1. 線性：...
和單頻雷射干涉儀一樣，雙頻雷射干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器，所不同者，一方面是當可動稜鏡不動時，前者的干涉信號是介於最亮和最暗之間的某個直流光平，而後者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號...
雷射干涉儀2是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的科學儀器，於2001年12月6日啟用。技術指標 1）測量重複性：σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ 2）最大允許誤差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01λ。主要功能 光學參數測試...
標定雷射干涉儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2016年12月23日啟用。技術指標 測量範圍：15米；測量分辨力：優於0.1nm；測角範圍：正負5度；角度分辨力：優於0.01角秒；直線度測量範圍：正負4mm；直線度測量分辨力：10nm。主...
雙光束雷射干涉儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2016年11月28日啟用。技術指標 解析度： ≤1 pm（X晶向的石英）；測量範圍：5pm- +/-25nm；形變Displacement/應變strain測量：頻率範圍50Hz到5kHz，內置電壓範圍100mV到10V；C-V...
6寸雷射干涉儀是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的科學儀器，於2012年12月19日啟用。技術指標 1)測量重複性：σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ 2)最大允許誤差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01λ。主要功能 光學參數測試...
4英寸雷射干涉儀 4英寸雷射干涉儀是一種用於物理學領域的計量儀器，於2015年12月1日啟用。技術指標 4/632.8nm/＞100m。主要功能 測量雷射波長。
24英寸雷射干涉儀是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的雷射器，於2016年6月5日啟用。技術指標 1）測試範圍： ≤600mm; 2)測量重複性：σ_PV≤0.005λ σ_rms≤0.001λ 3)最大允許誤差Δ_PV≤0.05λ Δ_rms≤0.01...
斐索雷射干涉儀主機是一種用於物理學領域的計量儀器，於2018年1月3日啟用。技術指標 電源：220V?/?50Hz? 光源：He-Ne雷射器，λ=632.8nm?口徑：Φ60mm。主要功能 平面面形測量（非鍍膜表面、高反射率鍍膜表面*）???小角度平行平晶...
JJG739-2005雷射干涉儀 《JJG739-2005雷射干涉儀》是2005年中國計量出版社出版的書籍，作者是中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會。本規程適用於雷射干涉儀的首次檢定和後續檢定。
《用於檢驗洛倫茲不變性的法布里-珀羅型雷射干涉儀》是依託中國科學院精密測量科學與技術創新研究院，由陳李生擔任項目負責人的專項基金項目。項目摘要 現代實驗物理研究的一項重要的任務是不斷地對物理學基礎理論進行高精度的實驗檢驗。其中與...
麥可遜干涉儀的最著名套用即是它在麥可遜-莫雷實驗中對以太風觀測中所得到的零結果，這朵十九世紀末經典物理學天空中的烏云為狹義相對論的基本假設提供了實驗依據。除此之外，由於雷射干涉儀能夠非常精確地測量干涉中的光程差，在當今的...
2018年，研發出解析度1nm的雙頻雷射干涉儀校準母機和配套校準軟體，自主研發的微小光斑檢測儀器和配套軟體；發布鏡面測量角達±60°的鏡頭，刷新了企業當前紀錄；年底新工廠投產，產品批量套用於主流手機廠家供應鏈設備儀器；2019年3月，研發...
量儀感測器技術開發室 該室以發展雷射干涉儀及其測量技術和套用為主，開展CCD光電感測器的研究，並進行測量誤差修正技術和套用軟體的開發，進行雷射干涉儀的工程化研究和中試生產。精密複雜量儀開發室 該室的主要任務是開發以齒輪量儀及其...
