高低真空掃描分析電子顯微鏡

高低真空掃描分析電子顯微鏡

高低真空掃描分析電子顯微鏡是一種用於材料科學、化學領域的分析儀器,於2005年8月15日啟用。

基本介紹

  • 中文名:高低真空掃描分析電子顯微鏡
  • 產地:日本
  • 學科領域:材料科學、化學
  • 啟用日期:2005年8月15日
  • 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,

技術指標

高真空解析度:3.0nm in SEI、4.0nm in BEI;低真空解析度:4.0nm in BEI;放大倍數:x8-x300000;加速電壓:0.5~30kV;放大倍數誤差:8%。

主要功能

納微觀測和分析。

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