高真空型掃描探針顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器,於2013年11月21日啟用。
基本介紹
- 中文名:高真空型掃描探針顯微鏡
- 產地:中國
- 學科領域:材料科學
- 啟用日期:2013年11月21日
- 所屬類別:分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
該系統由分子束外延(MBE)樣品製備室,表面分析室和低溫STM室三個超高真空(5.0′10-11 mbar)腔體組成 MBE樣品製備室:裝備有三個電子束蒸發源(EFM3),一個離子濺射槍和LN2冷卻罩 表面分析室:室溫下的STM,AFM(Contact Mode, Non-Contact Mode)表征和分析 低溫STM室:室溫、77K、5K下的STM表征和分析。
主要功能
用於塊狀材料、金屬材料、粉末材料、薄膜材料、磁性材料、聚合物材料及生物材料在微觀尺度下的納米形貌、納米刻蝕等。