掃描電子顯微鏡及電子能譜儀是一種用於材料科學、礦山工程技術、冶金工程技術領域的分析儀器，於2015年5月8日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描電子顯微鏡及電子能譜儀
- 產地：德國
- 學科領域：材料科學、礦山工程技術、冶金工程技術
- 啟用日期：2015年5月8日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
掃描電鏡設備主要技術參數：1、解析度：二次電子（SE）像解析度在高真空時：30kV時優於3.0nm，3kV時優於10.0nm；背散射電子(BSE)像解析度（VPwithBSD），30kV時優於4.0nm。2、放大倍數：5倍－100萬倍。3、最大試樣高度：145mm，最大試樣直徑：250mm。AZtecX-Max50電製冷型能譜儀分析元素範圍：Be4-Cf98。解析度：20,000cpsMnKα：≤127eV；FKa：≤66eV；CKa：≤56eV；其它：≤133eV。最大輸入計數：>750,000cps，最大輸出計數：>500,000cps。
主要功能
它可以進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素麵掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑑定，晶粒尺寸，晶體、晶粒取向測量。
