可變真空掃描電子顯微鏡

可變真空掃描電子顯微鏡是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2011年4月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：可變真空掃描電子顯微鏡
• 產地：捷克
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2011年4月20日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1、解析度：二次電子探測器3.0nm（30kV），15.0nm（1kV），背散射電子探測器4.0nm（30kV）2、放大倍數5~300000倍，自動修正放大；3、真空度：高真空≤10-4Pa；4、能譜分析：SDD探測器，在60000CPS條件下解析度優於129eV/Mnka，分析元素範圍B5-U92，檢測器有效面積10mm2，可承受大氣壓力的薄視窗。

主要功能

材料微觀形貌與化學成分分析。