超高真空低溫掃描隧道顯微鏡是一種用於工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的計量儀器，於2015年1月6日啟用。
基本介紹
- 中文名：超高真空低溫掃描隧道顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：工程與技術科學基礎學科、材料科學
- 啟用日期：2015年1月6日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 掃描隧道顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
USM-1400S是一台超高真空-低溫-可進行光學擴展的掃描探針顯微鏡。它可以在超高真空中，對襯底進行加熱或者冷卻的條件下，利用分子束外延的方法製備薄膜樣品，並且利用掃描探針顯微鏡在超高真空-低溫-光學照射或收集的環境中對已經製備的薄膜進行測量。其真空度可達1.0x10-10torr。掃描探針顯微鏡位於低溫杜瓦上方，通過針閥和外接乾泵來控制掃描頭的溫度。它的主要工作溫度包括77K（低溫杜瓦中充滿液氮），5 K（低溫杜瓦中充滿液氦）以及2.5K至室溫的變溫。USM-1400S的主要指標如下：1.快速進樣腔快速進樣腔位於製備腔和真空泵之間。平時處於粗真空。它的存在保證了在不破壞製備腔與轉換腔的超高真空的條件下，能夠從大氣向超高真空中傳入樣品。2.製備腔製備腔上面裝有各種用於分子外延生長的蒸發源。當樣品或者襯底從快速進樣腔傳入後，將在這個腔中進行處理材料生長。該腔另外一個功能是在襯底上利用分子束外延的方法生長薄膜。3.觀測腔觀測腔內有低溫杜瓦，掃描頭位於杜瓦上方的1K冷台上，通過針閥和外接乾泵進行冷卻操作，外面包裹有兩層熱禁止層，主要作用是觀測已經生長好的樣品。而。
主要功能
在超高真空中，對襯底進行加熱或者冷卻的條件下，利用分子束外延的方法製備薄膜樣品，並且利用掃描探針顯微鏡在超高真空-低溫-光學照射或收集的環境中對已經製備的薄膜和納米結構的形貌和電子結構進行測量。1K冷台上有加熱絲，使用液氦時能夠實現2.5K至80K的變溫操作。
