超低溫掃描隧道顯微鏡是一種用於數學領域的計量儀器，於2006年9月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：超低溫掃描隧道顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：數學
- 啟用日期：2006年9月1日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 掃描隧道顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1 快速進樣室樣品針尖安放台可以至少安放4個樣品架和4個針尖架快進門可以更換為標準的刀口法蘭密封方式以實現更好的真空度烘烤後真空度可以達到1.0×10-7Pa2 分子束外延製備室腔體外徑升級為ICF253，內壁電化學拋光處理，烘烤後真空度好於3.0×10-8Pa樣品操作台可以五維運動，並可以容納4個樣品架和4個針尖架，其中一個樣品架可以加熱和冷卻，直流加熱溫度達到1300攝氏度，電子束加熱達到1500攝氏度，液氦製冷可以達到40K以下，液氮製冷達到100K以下3 STM腔室掃描頭採用USM1300標準掃描頭，內部減震採用螺旋彈簧減震方式，相應改變樣品架設計，樣品尺寸為10 mm * 2.5 mmXY方向掃描範圍：室溫/78K/0.4K溫度下＞2/1/0.5微米；Z方向掃描範圍：室溫/78K/0.4K溫度下＞250/120/60納米溫漂在80K/4.2K下＜1 nm/hour和0.2nm/hour; 液氦溫度下形貌像噪音（FFT）＜2 pm/√HZ,其中最小的隧穿電流達到3 pA烘烤後真空度好於3.0×10-8Pa用於降溫的杜瓦磁場達到11T，最低溫度達到0.4K。
主要功能
分子束外延-掃描隧道顯微鏡聯合系統在超高真空的實驗條件下，通過分子束外延的方法進行高質量薄膜材料的外延製備和物性調控，並原位地利用低溫掃描隧道顯微鏡表征材料的形貌和電子結構。
