《碳化矽表面的石墨烯外延生長研究》是依託北京大學,由吳孝松擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名:碳化矽表面的石墨烯外延生長研究
- 依託單位:北京大學
- 項目負責人:吳孝松
- 項目類別:面上項目
《碳化矽表面的石墨烯外延生長研究》是依託北京大學,由吳孝松擔任項目負責人的面上項目。
《碳化矽表面的石墨烯外延生長研究》是依託北京大學,由吳孝松擔任項目負責人的面上項目。項目摘要能帶反轉的InAs/GaSb量子阱系統是量子自旋霍爾絕緣體的一種,其優點包括:可以用柵極調控的能帶結構、低溫下絕緣的體態、較為精...
7.4石墨烯在碳化矽上的外延生長 7.5氧化石墨烯的還原 7.5.1熱還原氧化石墨烯 7.5.2水熱還原氧化石墨烯 7.5.3溶劑熱還原氧化石墨烯 7.5.4化學還原氧化石墨烯 7.5.5電化學還原氧化石墨烯 7.5.6氫電漿還原氧化石墨烯 7.5.7氙閃光管還原氧化石墨烯 7.5.8膨脹還原劑還原氧化石墨烯 7.5.9光催化...
不斷地這樣操作,於是薄片越來越薄,最後,他們得到了僅由一層碳原子構成的薄片,這就是石墨烯。他們共同獲得2010年諾貝爾物理學獎,石墨烯常見的粉體生產的方法為機械剝離法、氧化還原法、SiC外延生長法,薄膜生產方法為化學氣相沉積法(CVD)。這以後,製備石墨烯的新方法層出不窮。2009年,安德烈·蓋姆和康斯坦丁...
外延生長反應(epitaxial growth reaction)是2016年公布的化學名詞。定義 利用晶體界面上的二維結構相似性成核的原理,在一塊單晶片上,沿著其原來的結晶軸方向再生長一層晶格完整、且可以具有不同雜質濃度和厚度的單晶層的反應。外延生長法有氣相外延、液相外延和分子束外延等。出處 《化學名詞》第二版。
2023年5月19日,保定第三代半導體產業技術研究院(以下簡稱“研究院”)正式成立。簡介 保定市第三代半導體產業技術研究院項目於2022年8月簽約,當時訊息顯示,項目立足國際前沿的第三代半導體材料關鍵技術、產業化技術,搭建碳化矽單晶襯底及外延生長技術等研發試驗和中試平台,形成可推廣至大規模產業化的技術成果。
《矽基外延生長優質單晶碳化矽薄膜與缺陷控制方法研究》是依託中國科學技術大學,由王玉霞擔任項目負責人的面上項目。中文摘要 製備優質低價低缺陷密度的單晶碳化矽薄膜及體材料是第三代半導體要解決的關鍵問題,而目前仍存在許多待解決的難題,這嚴重阻礙了其套用進程。本項目旨在矽片上用有機物和矽氧化物溶膠疊層熱解,...
本文通過分析研究碳化矽的生長機制和生長方法,提出了一種低溫生長碳化矽單晶薄膜的新方法,即熱絲輔助化學氣相澱積法,通過預碳化處理,大大降低了生長溫度及材料內部的熱應力和工藝難度。以甲烷、矽烷作為主要反應氣源,通過選擇合理的氣體流量及流量比,於600-750度範圍內成功地在矽襯底外延了立方結構的碳化矽薄膜,即...
1.2.1表面污染 1.2.2RCA、Piranha和HF清洗 1.3SiC的化學、電化學和熱腐蝕 1.3.1化學腐蝕 1.3.2電化學腐蝕 1.3.3熱腐蝕 1.4各種器件結構中SiC腐蝕的前景 1.4.1用於白光LED的螢光SiC 1.4.2褶皺鏡 1.4.3用於生物醫學套用的多孔SiC膜 1.4.4石墨烯納米帶 1.5總結 參考文獻 第2章 碳化矽歐姆接觸...
(2)製備單根SiC@Al2O3核殼外延納米線的場效應電晶體,研究不同介電層厚度等條件對器件性能的影響,從而找出該材料體系器件製備的最佳工藝條件。結題摘要 寬頻隙半導體材料,作為第三代半導體,已經受到人們越來越多的關注。在這些寬頻隙材料中,碳化矽(SiC)以其優異的物理、化學和光電特性成為製造短波長大功率光...
1.1.1石墨烯研究歷程003 1.1.2石墨烯結構006 1.1.3石墨烯性能008 1.2石墨烯的製備方法009 1.2.1微機械剝離法009 1.2.2碳化矽外延生長法010 1.2.3化學氣相沉積法011 1.2.4熱膨脹剝離法013 1.2.5化學試劑還原法014 1.2.6液相或氣相直接剝離法017 1.2.7電弧法020 1.2.8化學合成的方法021 1...
第5章SiC外延生長技術 5.1SiC外延生長的基礎 5.2SiC外延生長技術的進展 5.2.1SiC外延層的高品質化 5.2.2SiC外延層的高速生長 5.3有關SiC外延生長中晶體缺陷的研究 5.3.1擴展缺陷 5.3.2點缺陷 專欄:石墨烯 第6章SiC的表征技術 6.1SiC的物理性質評價 6.1.1光致發光 6.1.2拉曼散射評估 6.1.3...
1章 石墨烯及石墨烯基材料簡介001 1.1 石墨烯結構003 1.2 石墨烯特性004 1.3 石墨烯的製備方法005 1.3.1 微機械剝離法006 1.3.2 碳化矽熱解外延生長法007 1.3.3 化學氣相沉積法008 1.3.4 有機合成法008 1.3.5 溶劑剝離法009 1.4 石墨烯基材料010 1.4.1 氧化石墨烯、還原氧化石墨烯、石墨...
2008年6月底日本東北大學電氣通信研究所末光真希教授在矽襯底上生成單層石墨膜, 即石墨烯。可在不縮小情況下實現器件高速度工作,例如可用於製作每秒1012赫茲級高頻器件和超級微處理器。單層石墨膜很難製作,為厚度僅為一個碳原子的蜂窩狀石墨結構。末光教授的團隊控制碳化矽形成時的結晶方向和矽襯底切割的結晶方向,...
第2章 石墨烯的實際生產、供給與成本039 2.1 基於石墨的方法 / 042 2.2 石墨烯晶體在電漿與溶液中的直接自發合成 / 056 2.3 化學石墨烯與炭黑、活性炭及碳纖維的比較 / 061 2.4 基於化學氣相沉積的方法CVD / 067 2.5 碳化矽的外延生長 / 077 第3章 太陽能電池與電極084 3.1 太陽能電池的概念...
這阻礙器件套用進程。本項目旨在用新創的兩步法在矽襯底上製備能用於器件的優質、低價、大面積單晶碳化矽薄膜。研究在6H-SiC/Si襯底上用LPCVD法同質外延生長的SiC薄膜界面及表面缺陷形成的機制。探索控制、減少缺陷的可能措施,尋求最佳製備工藝。同時研究微觀結構及缺陷與巨觀電子、光學特性等的關係。
28化學氣相沉積的碳化矽外延生長 28.1 碳化矽極化類型 28.2 碳化矽的缺陷 28.3 碳化矽外延生長 28.4 圖形襯底上的外延生長 28.5 結論 參考文獻 29 半導體的液相電外延 29.1 背景 29.2 早期理論和模型的研究 ……30 半導體的外延橫向增生 31 新材料的液相外延 32 分子束外延的HgCdTe生長 33 稀釋氮化物的金屬...
《單晶氧化錫外延薄膜的製備及性能研究》是依託山東大學,由馬瑾擔任項目負責人的面上項目。 中文摘要 採用MOCVD方法分別在氧化鋯(ZrO2)和碳化矽(SiC)單晶襯底上外延生長單晶氧化錫(SnO2)半導體薄膜材料。系統地研究在這兩種單晶襯底不同晶面上薄膜生長的晶格適配問題,尋找製備外延氧化錫單晶薄膜的最佳襯底和工藝條件;...
5、碳化矽納米多型體的自旋量子態裁剪及特性研究,國家自然科學基金,2016.1-2019.12,結題,主持 6、用於電力電子器件的碳化矽外延生長研究,北京市自然科學基金,2013.1-2015.12,結題,主持 7、外延石墨烯的製備及其在納電子學中的套用研究,中國科學院知識創新工程青年人才領域前沿項目,2008.10-2010.11,結題...
碳化矽本身的抗氧化性質和立方β-SiC所具有的大比表面積使其可作為非均相催化劑的載體。通過稻殼炭化合成的β-SiC已被用於作為非均相催化劑的載體套用於催化諸如正丁烷氧化生成順丁烯二酸酐這類烴類的氧化反應。石墨烯生長 通過加熱至高溫,可在碳化矽的表面得到外延石墨烯。這種獲取石墨烯的方法被認為有希望實現大規模...
Institute of Technical Physics, University of Erlangen-Nuremberg, Germany,德國埃爾朗根-紐倫堡大學技術物理研究所 熱解碳化矽單晶基片製備石墨烯外延薄膜及其結構表征與電學性能 研究方向 介電功能薄膜外延生長、界面控制與物理性能;石墨烯薄膜與器件的製備及電學性能;微、納電子結構及電學性能。研究方向:石墨烯材料可控...
[10] 第一性原理動力學蒙特卡羅模擬研究液滴外延法半導體量子環自組裝生長(國家自然科學基金:20094301120004),2010年-2012年,參與,排名第三,3.6萬元。[11] 碳化矽納米顆粒表面石墨烯量子點生長機制與形貌調控的理論研究(國家自然科學基金:11204260),2013年-2015年,參與,排名第三,25萬元。[12] 半導體量子點...
碳化矽外延生長機理及關鍵技術研究,A1 5704250162 國防973 2004至2008年 SiC MESFET器件非線性模型建立,A1 5704250164 國防973 2004年至2008年 碳化矽外延材料技術 中外航天項目 2005年至2007年 碳化矽外延生長關鍵技術 教育部重大項目 2006年至2008年 1. 深亞微米積體電路P/G網的分析研究 2. 紫外光探測系統研究 3....
鄭新和, 男,北京科技大學套用物理系教授。一直從事氮化鎵(GaN)、碳化矽(SiC)和砷化鎵(GaAs)等半導體薄膜和量子阱(QW)結構的生長、物理性能分析與光電器件(發光二極體和太陽能電池)方面的研究。如今正在進行III族氮化物原子層外延生長、新型GaN/二維體系熱電子電晶體以及原子層沉積套用方面等的研究工作。人物...
272氧化鋅量子線陣列的外延生長46 273氧化鋅量子線陣列的雷射發射49 參考文獻52 第3章納米電子材料和器件/ 57 31從微電子學到納米電子學57 311微電子器件發展的摩爾定律57 312納米電子學的誕生58 313納米電子學的研究基礎59 32納米電子材料和器件61 321納米電子材料及其...
2010年5月公司與中國科學院半導體所合作成立了“碳化矽技術研究院”,組成了一支國內頂尖的技術創新團隊,為客戶提供優質的產品和服務,成為全球碳化矽外延晶片的主要生產商之一。公司宗旨:促進第三代寬禁帶半導體產業的發展,成為全球碳化矽外延片的主要生產商之一,以先進的碳化矽外延生長技術為客戶提供優良產品和服務。
國家863項目、江蘇省基金項目以及地方合作項目等,獲得了多項突出進展,得到了國際同行的普遍認可:首先實現和報導了可以在300oC以上工作的AlGaN/GaN異質結高溫霍爾器件、InN基表面化學感測器、具有極低暗電流的GaN同質外延紫外探測器等;實現了800V耐壓GaN高速整流器件;以及自主研製成功高速碳化矽外延生長設備;並且對GaN...
另外,在n型碳化矽外延生長層(2)的表面選擇性地設定第一p型基區(3)和第二p⁺型基區(4),第二p⁺型基區(4)形成在溝槽(16)的底部。另外,n型高濃度區域(5)的深度比第一p型基區(3)和第二p⁺型基區(4)的深度深。由此,能夠以簡單的方法緩和溝槽底部的柵絕緣膜的電場強度,確保有源部的耐電壓的...
(10)環保型高效低成本鋁-石墨雙離子電池,優秀產品獎,第十九屆高交會,2017 (11)基於鋁負極的高效低成本新型電池,優秀產品獎,第十九屆高交會,2017 (12)一體化超高倍率雙離子電池,優秀產品獎,第十九屆高交會,2017 (13)深圳市孔雀人才B類計畫,深圳市政府,2014 (14)葛庭燧獎研金,中國科學院金屬...
2.3.3 氮化物異質外延生長中的幾個重要問題 2.4 寬禁帶半導體材料的表征方法 2.4.1 X射線衍射測試 2.4.2 原子力顯微鏡測量 2.4.3 光致發光譜測量 2.4.4 傅立葉變換紅外譜厚度測試 2.4.5 汞探針C—V法測量雜質濃度分布 參考文獻 第3章 碳化矽高頻功率器件 3.1 SiC功率二極體 3....