高溫高壓原位掃描電子顯微鏡

高溫高壓原位掃描電子顯微鏡是一種用於物理學領域的分析儀器，於2019年11月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：高溫高壓原位掃描電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2019年11月6日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

解析度： 高真空模式優於1.5nm(30kV),4nm(1kV) 低真空模式優於1.8nm(15kV)。

主要功能

該儀器包含場發射掃描電鏡主機，以及離子濺射儀和電製冷能譜儀等附屬檔案。主要觀察各種材料的微觀形貌和通過能譜分析成分。