掃描電鏡低真空測量

掃描電鏡低真空測量是一種用於材料科學學科領域的長度計量儀器，於2006年12月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描電鏡低真空測量
• 外文名： SEM
• 學科領域：材料科學
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 原子力顯微鏡

技術指標

掃描電子顯微鏡與能譜聯用，最大放大倍數300000，高真空與低真空作業系統。

主要功能

掃描電鏡（SEM）是介於透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。掃描電鏡的優點是，①有較高的放大倍數，30-30萬倍之間連續可調；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；③試樣製備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。