掃描電子顯微鏡+粒子濺射儀

掃描電子顯微鏡+粒子濺射儀是一種用於物理學、材料科學學科領域的電子光學儀器，於2015年11月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描電子顯微鏡+粒子濺射儀
• 外文名：SEM
• 學科領域：物理學、材料科學
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

二次電子解析度：3.0nm（高真空，30kV） 背散射電子解析度：4.0nm（低真空，30kV） EDS能量解析度：125 eV(Mn K)。

主要功能

表面形貌及元素定性及定量分析。