超高分辨冷場掃描電子顯微鏡是一種用於能源科學技術領域的分析儀器，於2017年1月16日啟用。
基本介紹
- 中文名：超高分辨冷場掃描電子顯微鏡
- 產地：日本
- 學科領域：能源科學技術
- 啟用日期：2017年1月16日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
主要技術特點：（1）優秀的低加速電壓成像能力，1kv解析度可達1.3nm；（2）Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像；（3）可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減探嚷希速功能；（4）標配有冷指、電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能；（5）儀器的烘烤維護及烘烤後的透鏡機械對中均可由用戶自行完成。 主要技術指標： （1）加速電壓：0.1～30 kV （2）觀測倍率：30～2,000,000 （3）二次電子解析度：1.0nm（加速電壓15kV） 1.3nm（加速電壓1kV） （4）工墊譽雅墊作距離：0.5～晚凝探30mm。
主要功能
（夜舟辯拔1）觀測塊狀金屬（不包括磁性材料）、非金屬地犁固體材料、纖維、薄膜的表面或斷面的微區形貌； （2）微粒或纖挨鞏祝維形狀的觀察及尺寸分析； （3）材料及電子器件失效分析的測試； （4）高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體蜜探海材料； （5）進行材料表面微區成分的定性、定量分析，在材料表面做元素的點、線、面分布分析。
