《微機電系統(MEMS)技術術語》是2023年9月1日開始實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名：微機電系統(MEMS)技術術語
- 外文名：Micro-electromechanical system technology—Terms
- 發布日期：2023年5月23日
- 實施日期：2023年9月1日
編制進程,歸口部門,
編制進程
2023年5月23日，《微機電系統(MEMS)技術術語》發布。
2023年9月1日，《微機電系統(MEMS)技術術語》實施。
歸口部門
國家標準化管理委員會
《微機電系統(MEMS)技術術語》是2023年9月1日開始實施的一項中國國家標準。
微機電系統(MEMS)技術術語 《微機電系統(MEMS)技術術語》是2023年9月1日開始實施的一項中國國家標準。編制進程 2023年5月23日，《微機電系統(MEMS)技術術語》發布。2023年9月1日，《微機電系統(MEMS)技術術語》實施。歸口部門 國家標準化管理委員會
《微機電系統（MEMS）技術 基於MEMS技術的車規級壓力感測器技術規範》是2025年4月1日開始實施的一項中國國家標準。編制進程 2024年9月29日，《微機電系統（MEMS）技術 基於MEMS技術的車規級壓力感測器技術規範》發布。2025年4月1日，《微機電系統（MEMS）技術 基於MEMS技術的車規級壓力感測器技術規範》實施。起草工作...
機械技術是機電一體化的基礎，機械技術的著眼點在於如何與機電一體化技術相適應，利用其它高、新技術來更新概念，實現結構上、材料上、性能上的變更，滿足減小重量、縮小體積、提高精度、提高剛度及改善性能的要求。在機電一體化系統製造過程中，經典的機械理論與工藝應藉助於計算機輔助技術，同時採用人工智慧與專家系統等...
《微機電系統(MEMS)器件中若干電磁學問題的數值模擬研究》是依託華中科技大學，由邵可然擔任項目負責人的面上項目。中文摘要 微機電系統(MicroElectroMechanical Systems, MEMS)是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域, 目前它已成為世界矚目的重大科技領域之一。MEMS器件的仿真、設計目前還有不少困難...
微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。檔案發布 2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。...
《微機電系統(MEMS) 元器件、電路及系統集成技術和套用》是2020年機械工業出版社出版的圖書，作者是維卡斯·喬杜里（Vikas Choudhary）。內容簡介 本書共19章，分為兩大部分:第1～9章為突破性技術部分，討論各類新型微機電系統（MEMS）器件;第10～19章屬套用部分，詳細闡述以MEMS為基礎的各種新穎的套用。本...
《微機電系統(MEMS)技術—MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》是2020年4月1日實施的一項中國國家標準。編制進程 2019年12月31日，《微機電系統(MEMS)技術—MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》發布。2020年4月1日，《微機電系統(MEMS)技術—MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》實施。起草工作 主要起草單...
2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS微結構彎曲強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。檔案發布 2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS微結構彎曲強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施...
《微機電系統(MEMS)技術―MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》是2020年4月1日將要實施的一項中國國家標準。編制進程 2019年12月31日，《微機電系統(MEMS)技術―MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》發布。2020年4月1日，《微機電系統(MEMS)技術―MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》實施。起草工作 主要起...
《微機電系統MEMS製造技術/微納製造》是2014年科學出版社出版的圖書。內容簡介 本書主要論述微機電系統（MEMS）製造技術，全書共9章。第1章闡述MEMS製造技術的定義、發展歷程和發展趨勢；第2章介紹MEMS製造的材料基礎；第3章闡述MEMS製造中的沾污及潔淨技術；第4章闡述包括光刻技術和軟光刻技術在內的圖形轉移技術；...
《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法》是為適用於採用微電子工藝製造的納尺度結構在一次衝擊負荷作用下的耐衝擊性能的測試而制定的標準。2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。檔案...
2020年7月1日，《微機電系統(MEMS)技術—MEMS結構共振疲勞試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位：北京大學、北京智芯感測科技有限公司、浙江博亞精密機械有限公司、北京必創科技股份有限公司、中機生產力促進中心、瀋陽國儀檢測技術有限公司、中北大學。主要起草人：張威、張亞婷、朱悅、石雲波、周浩楠、陳得民、于振毅、...
《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》是2020年10月1日將要實施的一項中國國家標準。編制進程 2020年3月6日，《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》發布。2020年10月1日，《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位：北京大學 、中機生產力...
《微機電系統（MEMS）技術 薄膜力學性能的鼓脹試驗方法》（GB/T 44919-2024）是2024年11月28日開始實施的國家標準。1.編制進程 2024年11月28日，《微機電系統（MEMS）技術 薄膜力學性能的鼓脹試驗方法》發布。2024年11月28日，《微機電系統（MEMS）技術 薄膜力學性能的鼓脹試驗方法》實施。2.起草工作 主要起草單位...
2020年10月1日，《微機電系統(MEMS)技術—帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位：北京大學、北京智芯感測科技有限公司、中北大學、中機生產力促進中心、無錫華潤上華科技有限公司、北京必創科技股份有限公司。主要起草人：張威、李海斌、夏長奉、石雲波、程紅兵、周浩楠、張亞婷、朱悅、陳得民、馬書嫏...
《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》是2018年5月1日實施的一項中國國家標準。編制進程 2017年11月1日，《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》發布。2018年5月1日，《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》實施。起草工作 ...
2020年7月1日，《微機電系統(MEMS)技術―MEMS結構共振疲勞試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位：北京大學 、中機生產力促進中心 、北京智芯感測科技有限公司 、瀋陽國儀檢測技術有限公司 、浙江博亞精密機械有限公司 、中北大學 、北京必創科技股份有限公司 。主要起草人：張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學貴 、朱悅 ...
2020年7月1日，《微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位： 北京大學 、中機生產力促進中心 、北京智芯感測科技有限公司 、瀋陽國儀檢測技術有限公司 、浙江博亞精密機械有限公司 、中北大學 、北京必創科技股份有限公司 。主要起草人： 張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學貴 、...
《微納製造的基礎研究學術著作叢書》序 前言 第1章 緒論 第2章 MEMS製造材料基礎 第3章 MEMS製造中的沾污及潔淨技術 第4章 圖形轉移 第5章 濕法腐蝕與乾法刻蝕 第6章 氧化、擴散與注入 第7章 薄膜製備 第8章 MEMS標準工藝 第9章 MEMS封裝 附錄A MEMS製造常用化學品 附錄B 化學品安全術語 索引 封底 ...
智慧車載系統簡介 智慧車載系統隨時有著龐大運算量，需有高規格的軟硬體才能得以實現，透過所謂微機電系統（Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS），使得關鍵零件可以做得越來越微小，而運算效能直線上升（現今人手一支的智慧型手機已超越1969年阿波羅11號登月時的運算量），讓智慧車載系統得以整合原本各自獨立的影音系統、...
1.1 積體電路和微加工技術的發展 1.2 微機電系統的發展 1.3 微光學的最新發展 1.4 MEMS中的微光學：MOEMS回顧 1.4.1 光學開關的新發展 1.4.2 可調諧濾光片和波分復用技術（WDMs）1.4.3 數字反射鏡裝置 1.4.4 MOEMS掃描器 1.4.5 電信領域中的MOEMS技術 1.5 微系統：術語和範圍 1.5.1 世界...
《微機電系統(MEMS)設計和原型設計指南》是2014年11月國防工業出版社出版的圖書，作者是李會丹。內容簡介 微機電系統（MEMS）設計和原型設計指南 無論你是正在學習初級MEMS課程的學生，還是想要在MEMS設計上進步飛速的設計師，這些實用指導都可以提供開展MEMS器件設計、製造和測試所需要的實操經驗。你可以了解到如何使用...
《微機電系統(MEMS)工藝基礎與套用》是2016-2-1 出版的圖書，作者是邱成軍，曹姍姍，卜丹。內容簡介 本書著重從基本理論和具體套用方面闡述MEMS工藝。主要介紹MEMS的概念、發展現狀與趨勢及力學相關知識；重點闡述MEMS實現工藝，主要有刻蝕（包括各向同性和各向異性刻蝕的原理、實現的方法、以及刻蝕自停止技術和乾法刻蝕...
《微機電系統(MEMS)原理、設計和分析》是2009年西安電子科技大學出版社出版的圖書，作者是田文超。 內容簡介 本書系統地介紹了微機電系統的原理、設計和分析等知識，內容包括微機電系統的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、設計方法、加工工藝、表面特性、檢測技術、主要套用以及COMSOL軟體、微機電系統模組仿真。...
微米技術也稱為微機電系統( MEMS)，其始於1969年美國西屋(Westinghouse)公司設計的諧振柵—場效應電晶體。接下來的十年中，一些製造廠商開始使用體矽蝕刻技術生產壓力感測器。技術上的突破一直持續到20世紀80年代初，使用新型多晶矽表面微加工技術來製造用於磁碟驅動磁頭的驅動器。到了80年代後期，MEMS器件的潛力被認可，...
其中之一就是“微機電系統（MEMS）”。可以說，“極”是前沿科技或前沿科技產品發展的一個焦點。4、以“自動化”技術為發展前提 這是所講的“自動化”就是減輕人的勞動，強化、延伸、取代人的有關勞動的技術或手段。自動化總是伴隨有關機械或工具來實現的。可以說，機械是一切技術的載體，也是自動化技術的載體。
用於指慣性導航系統或緊密相關設備的其他術語包括慣性導航系統，慣性儀器，慣性測量單元（IMU）以及許多其他變體。 較舊的INS系統通常使用慣性平台作為車輛的安裝點，並且這些術語有時被認為是同義詞。信息介紹 慣性導航是一種獨立的導航技術，其中使用加速度計和陀螺儀提供的測量來跟蹤對象相對於已知起點，方向和速度的位...
感測器市場的主要增長來自於無線感測器、MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems，微機電系統)感測器、生物感測器等新興感測器。其中，無線感測器在2007-2010年複合年增長率預計會超過25%。目前，全球的感測器市場在不斷變化的創新之中呈現出快速增長的趨勢。有關專家指出，感測器領域的主要技術將在現有基礎上予以延伸和提高，...