《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》是2018年5月1日實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名：微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法
- 外文名：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
- 標準類別：方法
- 標準號：GB/T 34898-2017
編制進程,起草工作,
編制進程
2017年煮剃禁市11月1日滲槓遙，《迎地歸微機電系統（MEMS）技榜槓辣術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》發布。
2018年5月1日，《微機電系統（MEMS）技艱寒求術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法拳白》實施。
起草工作
主要起草單位：北京遙測技術研究所、中機生產力促進中和促禁付心。
主要起草人：李慶豐、金小鋒、李海斌、朱悅、程紅兵。
