《微機電系統(MEMS)器件中若干電磁學問題的數值模擬研究》是依託華中科技大學，由邵可然擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：微機電系統(MEMS)器件中若干電磁學問題的數值模擬研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：邵可然
- 依託單位：華中科技大學
- 批准號：50477045
- 申請代碼：E0701
- 負責人職稱：教授
- 支持經費：22（萬元）
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
中文摘要
微機電系統(MicroElectroMechanical Systems, MEMS)是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域, 目前它已成為世界矚目的重大科技領域之一。MEMS器件的仿真、設計目前還有不少困難，困難之一是多能量域的耦合。本項目提出採用無格線算法研究MEMS器件中若干電磁學問題的數值模擬。研究的核心內容是：計算電磁學的正交基無格線方法；研究多能量域耦合的無格線算法,包括無格線的有限點方法（FCM）和邊界型無單元法（BCM），並研究FCM-BCM的耦合算法；用無格線法對MEMS器件中考慮電和機械結構相互耦合的壓電效應的數值模擬；用FCM-BCM算法對靜電MEMS器件中靜電場與結構力場相互耦合效應的數值模擬。使MEMS器件工作的靜態、準靜態和動態模擬成為可能，進而使我們能夠對MEMS器件的結構和工藝進行計算機模擬和最佳化設計。
