微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法

《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》是2020年10月1日將要實施的一項中國國家標準。

基本介紹

• 中文名：微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法
• 外文名：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
• 標準號：GB/T 38446-2020
• 中國標準分類號：L55

編制進程

2020年3月6日，《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》發布。

2020年10月1日，《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》實施。

起草工作

主要起草單位：北京大學 、中機生產力促進中心 、北京智芯感測科技有限公司 、無錫華潤上華科技有限公司 、中北大學 、北京必創科技股份有限公司 。

主要起草人：張威 、李海斌 、張亞婷 、朱悅 、夏長奉 、石雲波 、陳得民 、馬書嫏 、程紅兵 、周浩楠 。