《微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法》是2020年7月1日開始實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名：微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法
- 外文名：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
- 標準號：GB/T 38447-2020
- 標準類別：方法
編制進程,起草工作,
編制進程
2020年3月6日，《微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法》發布。
2020年7月1日，《微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法》實施。
起草工作
主要起草單位： 北京大學 、中機生產力促進中心 、北京智芯感測科技有限公司 、瀋陽國儀檢測技術有限公司 、浙江博亞精密機械有限公司 、中北大學 、北京必創科技股份有限公司 。
主要起草人： 張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學貴 、朱悅 、石雲波 、李海斌 、程逸軒 、周浩楠 、陳得民 。
