《微機電系統(MEMS)技術—MEMS結構共振疲勞試驗方法》是2020年7月1日實施的一項中國國家標準。
全國微機電技術標準化技術委員會 全國微機電技術標準化技術委員會編號TC336，由機械科學研究院中機生產力促進中心籌建，國家標準化管理委員會進行業務指導。相關國標計畫 相關國家標準
項目針對微機電系統（MEMS）中廣泛使用的矽微結構，採用分子動力學模擬的方法開展疲勞失效研究。首先從載荷條件、工作環境、試樣狀態、材料本質等四方面，開展彎曲、扭轉和彎扭組合三種載荷下的試驗研究，揭示矽微結構疲勞失效的影響因素；其次針對影響顯著的因素，進行疲勞過程的分子動力學模擬研究，建立疲勞失效機理；再次...
《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》是2018年5月1日實施的一項中國國家標準。編制進程 2017年11月1日，《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》發布。2018年5月1日，《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》實施。起草工作 ...
微機電系統（MEMS）是由亞微米至亞毫米範圍內的電子和機械元件組成的微器件。MEMS產品在汽車、航空航天、醫療器械等諸多領域得到了廣泛的套用。因此，開展亞微米至亞毫米範圍內的機械元件的疲勞強度理論與實驗研究、測試微結構件的疲勞性能，對提高MEMS產品的設計水平具有重要的實際意義。本項目研究內容是：以微機械結構...
微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智慧型系統。微機電系統是在微電子技術（半導體製造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非...
《微機電系統(MEMS)器件中若干電磁學問題的數值模擬研究》是依託華中科技大學，由邵可然擔任項目負責人的面上項目。中文摘要 微機電系統(MicroElectroMechanical Systems, MEMS)是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域, 目前它已成為世界矚目的重大科技領域之一。MEMS器件的仿真、設計目前還有不少困難...
《微機電系統(MEMS) 元器件、電路及系統集成技術和套用》是2020年機械工業出版社出版的圖書，作者是維卡斯·喬杜里（Vikas Choudhary）。內容簡介 本書共19章，分為兩大部分:第1～9章為突破性技術部分，討論各類新型微機電系統（MEMS）器件;第10～19章屬套用部分，詳細闡述以MEMS為基礎的各種新穎的套用。本...
2.1.2 晶體結構 2.1.3 彌勒指數 2.1.4 機械特性 2.2 矽化合物 2.2.1 多晶矽 2.2.2 氧化矽 2.2.3 碳化矽 2.2.4 氮化矽 2.3 砷化鎵 2.4 陶瓷 2.5 形狀記憶合金 2.6 磁致伸縮材料 2.7 流變體 2.7.1 電流變體 2.7.2 磁流變體 2.7.3 鐵流 第3章 微機電系統的固體...
微機電系統MEMS製造技術/微納製造 微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書 微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書
《微機電系統(MEMS)工藝基礎與套用》是2016-2-1 出版的圖書，作者是邱成軍，曹姍姍，卜丹。內容簡介 本書著重從基本理論和具體套用方面闡述MEMS工藝。主要介紹MEMS的概念、發展現狀與趨勢及力學相關知識；重點闡述MEMS實現工藝，主要有刻蝕（包括各向同性和各向異性刻蝕的原理、實現的方法、以及刻蝕自停止技術和乾法刻蝕...
《微機電系統(MEMS)設計和原型設計指南》是2014年11月國防工業出版社出版的圖書，作者是李會丹。內容簡介 微機電系統（MEMS）設計和原型設計指南 無論你是正在學習初級MEMS課程的學生，還是想要在MEMS設計上進步飛速的設計師，這些實用指導都可以提供開展MEMS器件設計、製造和測試所需要的實操經驗。你可以了解到如何使用...
《參數激勵靜電驅動微機電系統(MEMS)的非線性振動與控制》是依託上海交通大學，由張文明擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 本項目以參數激勵(直流電壓和交流電壓)靜電驅動微機電系統(MEMS)為研究背景，提出微尺度下多能域耦合系統的動力學建模與理論分析方法，揭示微尺度下阻尼特性和靜電力所具有的吸合(Pul...
本課題針對臨床上大便失禁病症，研究原位植入式人工肛門括約肌的重建理論及其關鍵技術。開展以下幾方面的理論和關鍵技術研究：1、重點研究活體生物柔性腸道糞便量的檢測理論和方法，研製可檢測活體生物柔性腸道糞便量的生物感測器，重建大便失禁患者喪失的直腸感覺功能。2、利用微機電系統(MEMS)研製人工肛門括約肌，重建肛門...
微機電系統 這種系統的特點是機電一體化、微型化和智慧型化，尺寸可以小到數mm以下，一般將尺寸為l～10mm的稱為小型MEMS，尺寸為10µm～lmm的稱為微型MEMS，尺寸為10nm～10µrn的稱為超微型MEMS，尺寸為10nm以下稱為NEMS。MEMS中的微型傳成器和微型動作器都是在積體電路基礎上用光刻或化學腐蝕技術製成的，且...
《基於MEMS工藝的神經刺激微電極陣列的關鍵技術研究》是依託上海交通大學，由隋曉紅擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 多通道植入式神經刺激微電極陣列是目前進行神經科學研究的關鍵部件，具有重要的研究價值和學術意義。基於微機電系統(MEMS)工藝製作的多通道神經刺激微電極陣列具有通道一致性高、成本低、可重複性...
《實時監測細胞分泌蛋白的微全分析方法研究》是依託重慶大學，由楊軍擔任項目負責人的面上項目。中文摘要 本課題研究一種進行實時、快速、高效的活細胞蛋白分泌情況監測的新方法，同時利用微機電系統（MEMS）技術加工集成有微流通道網路結構和表面等離子激元共振（SPR）生物感測裝置的微全分析系統。這一新的微全分析方法...
OMOM膠囊內鏡是集圖象處理、信息通訊、光電工程、生物醫學等多學科技術為一體的典型的微機電系統（MEMS）高科技產品，由智慧型膠囊、圖像記錄儀和影像工作站(計算機和圖像分析軟體)三個部分組成。可以幫助醫生為消化道疾病患者做輔助診斷，在消化系統疾病的診治中有著十分廣泛的套用。工作原理 OMOM膠囊內鏡的工作原理是：...
實驗室徽標由齒輪構成環形結構，代表“機械製造”，表明實驗室研究方向。文化活動 實驗室曾開展“機械製造系統工程國家重點實驗室科技活動周”“全國科普日陝西主場暨中國科協年會宣傳活動”等活動，開展專題科普活動，通過成果展示、講座培訓、參觀實驗室、現場操作演示等多種活動形式，展現實驗室文化。機構領導 現任領導 ...
57 高速顯微攝像系統 高速率微觀成像。 58 光學三維掃描測量系統 採用正弦光柵投影和數字圖像技術等,獲取處理三維數據。 59 相控陣系統 聲束聚焦成像,物象檢查。 60 測力系統 測試組件功能結構力學性能分析。 61 振動信號採集與分析系統 振動信號採集與分析。 62 紅外光點三維運動分析系統 能精確捕捉高速運動物體...
高行山, 男，1964年生，博士，教授，碩士生導師，工程力學系系主任。主要從事工程結構數值仿真分析、微機電系統（MEMS）動力學、振動理論及其套用、仿生材料、計算機軟體開發等方面的教學和研究工作。目前承擔多項科研項目。在重要刊物發表論文40多篇，被EI檢索10篇、SCI檢索5篇。出版教材及教學參考書3部、譯著1部。支...
本課題針對該瓶頸，開展基於直腸感知功能重建的人工肛門括約肌關鍵技術研究。具體內容包括：1、研究人體腸道糞便量檢測理論和方法，利用信息熵提取人體直腸糞便量信息的非平穩特徵，並基於決策融合理論建立直腸感知功能預測模型，重建大便失禁患者的直腸感知功能；2、利用微機電系統（MEMS）等工程技術研製重建肛門括約肌肌群功能...
現為中國農業機械學會基礎技術學會理事，中國機械工程學會機械工業自動化分會委員，中國自動化學會製造技術專業委員會委員，國家自然科學基金委員會優秀國家重點實驗室評估專家。教學研究 1，現代機械設計方法與CAD系統。2，MEMS微結構疲勞強度。3，結構多軸疲勞及壽命預測方法。4，汽車結構點焊疲勞強度分析。5，隨機載入下...
“一區兩群”協調發展,以建成高質量發展、高品質生活新範例為統領,以支撐引領供給側結構性改革為主線,以深化科技體制改革為動力,突出“四個面向”戰略導向,把科技創新作為高質量發展的主動力,把大數據智慧型化作為科技創新的主方向,把建設具有全國影響力的科技創新中心作為主目標,把產業科技創新作為主戰場,把建設西部(...
神經元和神經元網路是神經系統的基礎，與此相關的研究接近生命存在的本質，具有重大的科學意義和套用價值。目前對神經網路信號傳遞的研究集中在電信號的採集和分析，而對於神經遞質的實時監測難度很大。本項目針對這一難題，擬基於互補金屬氧化物半導體積體電路(CMOS)-微機電製造(MEMS)技術結合，採用高採樣頻率的計時電流...
4．微機電系統與微製造技術 講授課程 1 彈性力學有限元法（碩士生學位課）2 機械CAD（本科生選修課）3 機械可靠性工程（本科生選修課）4 疲勞強度（本科生選修課）5 Monte Carlo方法與計算機統計模擬（研究生必修課）出版圖書 學術成果 科研項目 長期從事結構疲勞強度、系統可靠性、計算機輔助工程分析等方面的教學與...
《耳蝸腔與壓電薄膜助聽器件的流-固耦合特徵與模型》是依託清華大學，由羅川擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 混合植入式助聽器和全植入人工耳蝸是當前聽力康復領域的熱點方向，基於壓電薄膜的微機電系統（MEMS）是它們在內耳產生音波或拾取音波的重要器件。而狹小的耳蝸腔與其中的淋巴液對薄膜型器件的影響...
主要內容有：現代設計理論與方法綜述、普適設計與功能設計、創新設計、綠色設計與和諧設計、機械系統概念設計、機械系統的振動設計及噪聲控制、機械結構的有限元設計、疲勞強度設計、機械可靠性設計、造型設計與人機工程、摩擦學設計、最佳化設計、虛擬設計、智慧型設計、並行設計與協同設計、反求設計與快速成形製造技術、快速...
正因此，世界各國的科研小組一直不斷致力於研製醫用納米機器人。如圖1所示，為《自然》雜誌所發表的美國最新研製的用於輸送致癌藥物的納米機器人結構示意圖，它為我們揭開了納米機器人神秘的面紗。納米機器人還處於起步階段，有人給納米機器人的發展大致分成了三代：第一代，是把生物系統和機械系統有機結合的新系統；...
