全國微機電技術標準化技術委員會

全國微機電技術標準化技術委員會編號TC336,由機械科學研究院中機生產力促進中心籌建,國家標準化管理委員會進行業務指導。

基本介紹

  • 中文名:全國微機電技術標準化技術委員會
  • 外文名:Micro electro mechanical Technology
  • 籌建單位:機械科學研究院中機生產力促進中心
  • 業務指導單位:國家標準化管理委員會
相關國標計畫,相關國家標準,

相關國標計畫

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計畫號
項目名稱
制修訂
計畫下達日期
項目狀態
1
20204975-T-469
半導體器件 微機電器件 第26部分:微溝槽和針結構的描述和測量方法
制訂
2020-12-28
正在起草
2
20204971-T-469
半導體器件 微機電器件 第20部分:陀螺儀
制訂
2020-12-28
正在起草
3
20204972-T-469
矽基MEMS製造技術 微結構彎曲強度檢測方法
制訂
2020-12-28
正在起草
4
20204974-T-469
矽基MEMS製造技術 納尺度結構衝擊實驗方法
制訂
2020-12-28
正在起草
5
20204973-T-469
矽基MEMS製造技術 納米厚度膜抗拉強度檢測方法
制訂
2020-12-28
正在起草
6
20200872-T-469
微機電系統(MEMS)技術 術語
修訂
2020-03-06
正在起草
7
20192195-T-469
MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法
制訂
2019-07-12
正在起草
8
20190942-T-469
半導體器件 微機電器件 第9部分:MEMS的晶圓間鍵合強度測量
制訂
2019-03-28
正在起草
9
20190941-T-469
半導體器件 微機電器件 第13部分:MEMS結構粘附強度的彎曲和剪下試驗方法
制訂
2019-03-28
正在起草
10
20171123-T-469
微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法
制訂
2017-07-21
已發布

相關國家標準

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標準號
標準中文名稱
發布日期
實施日期
標準狀態
1
GB/T 38447-2020
微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法
2020-03-06
2020-07-01
現行
2
GB/T 38446-2020
微機電系統(MEMS)技術 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法
2020-03-06
2020-10-01
現行
3
GB/T 38341-2019
微機電系統(MEMS)技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法
2019-12-31
2020-04-01
現行
4
GB/T 35086-2018
MEMS電場感測器通用技術條件
2018-05-14
2018-12-01
現行
5
GB/T 34899-2017
微機電系統(MEMS)技術 基於拉曼光譜法的微結構表面應力測試方法
2017-11-01
2018-05-01
現行
6
GB/T 34893-2017
微機電系統(MEMS)技術 基於光學干涉的MEMS微結構面內長度測量方法
2017-11-01
2018-05-01
現行
7
GB/T 34898-2017
微機電系統(MEMS)技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法
2017-11-01
2018-05-01
現行
8
GB/T 34894-2017
微機電系統(MEMS)技術 基於光學干涉的MEMS微結構應變梯度測量方法
2017-11-01
2018-05-01
現行
9
GB/T 34900-2017
微機電系統(MEMS)技術 基於光學干涉的MEMS微結構殘餘應變測量方法
2017-11-01
2018-05-01
現行
10
GB/T 33922-2017
MEMS壓阻式壓力敏感晶片性能的圓片級試驗方法
2017-07-12
2018-02-01
現行

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