微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書
基本介紹
- 中文名：微機電系統MEMS製造技術/微納製造
- 作者：苑偉政、喬大勇、盧秉恆
- 出版時間：2014年3月1日
- 出版社：科學出版社
- ISBN：9787030399748
微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書
微機電系統MEMS製造技術/微納製造
相關詞條
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