《微機電系統(MEMS)製造技術》是2014年科學出版社出版的圖書，作者是苑偉政、喬大勇。
目前，國際上比較重視的微型機電系統的製造技術有犧牲層矽工藝、體微切削加工技術、LIGA工藝和準LIGA工藝等，新的微型機械加工方法還在不斷湧現，這些方法從微電機的加工，一直到鐘錶加工技術，以及多晶矽的熔煉和聲雷射刻蝕等等。加工材料 MEMS技術採用的材料一般可分為襯底材料和附加材料兩類。目前微機械加工採用的襯底...
《微機電系統(MEMS)製造技術》是2014年科學出版社出版的圖書，作者是苑偉政、喬大勇。內容簡介 本書共9章，分別介紹了MEMS製造技術發展歷程和發展趨勢、MEMS製造材料基礎、MEMS製造中的沾污及潔淨技術、MEMS製造中的圖形轉移技術、濕法腐蝕與乾法刻蝕技術、氧化擴散與注入、薄膜製備技術、MEMS標準工藝和MEMS封裝技術。圖書...
微機電系統MEMS製造技術/微納製造 微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書 微機電系統製造技術(精)/微納製造的基礎研究學術著作叢書
PrecisionCore技術是愛普生髮布的一項技術，又被稱為薄膜壓電技術，可實現高精度，在噴墨過程中不需要加熱。構成 Precision Core技術是涵蓋多種墨水和標識材料的批量列印技術，包括“Precision CoreTFP列印晶片”，以及高精度MEMS（微機電系統）。核心技術 “微型TFP列印晶片”技術。微TFP印刷晶片由3片矽片(①TFP執行器、②...
技術 微機電系統有多種原材料和製造技術，選擇條件是系統的套用、市場等等。矽 矽是用來製造積體電路的主要原材料。由於在電子工業中已經有許多實用矽製造極小的結構的經驗，矽也是微機電系統非常常用的原材料。矽的物質特性也有一定的優點。單晶體的矽遵守胡克定律，幾乎沒有彈性滯後的現象，因此幾乎不耗能，其運動...
《微機電系統(MEMS)技術—MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》是2020年4月1日實施的一項中國國家標準。編制進程 2019年12月31日，《微機電系統(MEMS)技術—MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》發布。2020年4月1日，《微機電系統(MEMS)技術—MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法》實施。起草工作 主要起草單...
微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。檔案發布 2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。...
MEMS感測器是MEMS器件的一個重要分支，作為微機電系統的重要組成部分，MEMS感測器是實現微機電系統感知和信號處理的功能器件。這種感測器採用MEMS製造技術，即微電子製造技術和微機械加工製造技術，其材料、工作原理、製作工藝等方面與傳統感測器有相當大的區別。MEMS感測器是基於其敏感材料的特殊效應工作的，它的製作工藝結合...
MEMS（微型機電系統） 麥克風是基於MEMS技術製造的麥克風，簡單的說就是一個電容器集成在微矽晶片上，可以採用表貼工藝進行製造,能夠承受很高的回流焊溫度,容易與 CMOS 工藝及其它音頻電路相集成, 並具有改進的噪聲消除性能與良好的 RF 及 EMI 抑制能.MEMS麥克風的全部潛能還有待挖掘，但是採用這種技術的產品已經在多...
微機電系統(MEMS)技術術語 《微機電系統(MEMS)技術術語》是2023年9月1日開始實施的一項中國國家標準。編制進程 2023年5月23日，《微機電系統(MEMS)技術術語》發布。2023年9月1日，《微機電系統(MEMS)技術術語》實施。歸口部門 國家標準化管理委員會
2020年10月1日，《微機電系統(MEMS)技術—帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位：北京大學、北京智芯感測科技有限公司、中北大學、中機生產力促進中心、無錫華潤上華科技有限公司、北京必創科技股份有限公司。主要起草人：張威、李海斌、夏長奉、石雲波、程紅兵、周浩楠、張亞婷、朱悅、陳得民、馬書嫏...
第Ⅰ部分 突破性技術 第1章 技術突破———微系統到微納米系統 2 1.1 從微電子到微系統 1.2 微系統:納米技術與巨觀領域間的聯繫 12 1.3 自下而上納米技術:納米機電系統的未來 13 1.4 總結和展望 15 致謝 15 參考文獻 15 第2章 MEMS中的高 k電介質HfO2 17 2.1 概述 17 2.2 HfO2薄膜製造...
《微機電系統(MEMS)設計和原型設計指南》是2014年11月國防工業出版社出版的圖書，作者是李會丹。內容簡介 微機電系統（MEMS）設計和原型設計指南 無論你是正在學習初級MEMS課程的學生，還是想要在MEMS設計上進步飛速的設計師，這些實用指導都可以提供開展MEMS器件設計、製造和測試所需要的實操經驗。你可以了解到如何使用...
2020年7月1日，《微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位： 北京大學 、中機生產力促進中心 、北京智芯感測科技有限公司 、瀋陽國儀檢測技術有限公司 、浙江博亞精密機械有限公司 、中北大學 、北京必創科技股份有限公司 。主要起草人： 張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學貴 、...
《微機電系統設計與製造》是2004年化學工業出版社出版的圖書，作者是莫錦秋。本書可供希望了解或採用微機電系統的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業等選修課時的教學參考書。內容簡介 微機電系統（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術等密切相關，具有體積小...
微機電系統（以下簡稱MEMS）也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體製造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。隨著MEMS慣性器件技術的進步，成本較低、體積較小的MEMS器件精度越來越高，“微慣導”定位...
《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》是2020年10月1日將要實施的一項中國國家標準。編制進程 2020年3月6日，《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》發布。2020年10月1日，《微機電系統(MEMS)技術―帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法》實施。起草工作 主要起草單位：北京大學 、中機生產力...
《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》是2018年5月1日實施的一項中國國家標準。編制進程 2017年11月1日，《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》發布。2018年5月1日，《微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》實施。起草工作 ...
《微機電系統(MEMS)原理、設計和分析》是2009年西安電子科技大學出版社出版的圖書，作者是田文超。 內容簡介 本書系統地介紹了微機電系統的原理、設計和分析等知識，內容包括微機電系統的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、設計方法、加工工藝、表面特性、檢測技術、主要套用以及COMSOL軟體、微機電系統模組仿真。...
RF MEMS器件主要可以 分為兩大類：一類稱為無 源MEMS，其結構無可動零 件；另一類稱為有源 MEMS，有可動結構，在電 應力作用下，可動零件會 發生形變或移動。其關鍵 加工技術分為四大類：平 面加工技術、體矽腐蝕技 術、固相鍵合技術、LIGA 技術。系統簡介 射頻微機電系統(RF MEMS) 是MEMS技術的重要套用領域...
《微機電系統(MEMS)工藝基礎與套用》是2016-2-1 出版的圖書，作者是邱成軍，曹姍姍，卜丹。內容簡介 本書著重從基本理論和具體套用方面闡述MEMS工藝。主要介紹MEMS的概念、發展現狀與趨勢及力學相關知識；重點闡述MEMS實現工藝，主要有刻蝕（包括各向同性和各向異性刻蝕的原理、實現的方法、以及刻蝕自停止技術和乾法刻蝕...
隨著高新技術的迅猛發展，微機電系統（micro-electro-mechanicalsystems，MEMS）和微系統技術（micro-system technology，MST）等由於具有節省空間、節約能源、易於重組、便攜輕巧等優點，在民用和軍用諸多領域備受青睞。這些技術的興起和廣泛套用，增大了對微型零件的需求量，對微型零件的製造成本和效率提出了更高要求。傳統...
《微機電系統》是2021年西北工業大學出版社出版的圖書。內容簡介 《微機電系統（第2版 微機電系統工程系列教材）》是在教育部對研究生推薦教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結合微機電系統（MEMS）領域新的研究成果編著而成的。全書分為6章，分別介紹了MEMS發展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計...
MEMS振盪器可以利用現有矽半導體行業所使用的製造技術和設備，讓半導體行業能在代工環境中集成MEMS。Sitime公司將以MEMSFirst技術進入時鐘管理器件市場，下一代集成度更高的解決方案將包括MEMS振盪器和在同一矽晶圓上製造的超大規模積體電路控制功能。Sitime公司已與Jazz半導體公司合作，將SiTime公司的MEMS First工藝與Jazz...
微機械是指利用半導體技術（特別是平板印製術，蝕刻技術）設計和製造微米領域的三維力學系統，以及微米尺度的力學元件的技術。它開闢了製造集成到矽片上的微米感測器和微米電機的嶄新可能性。產品介紹 微電子機械系統 ( Micro Electro - Mechanical System, MEMS ) ，簡稱微機械，是以微電子技術和微加工技術為基礎的...
微機械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫，即微電子機械系統。微電子機械系統(MEMS)技術是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology）基礎上的 21世紀前沿技術，是指對微米/納米材料進行設計、加工、製造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元的微型系統。...
第二條，高推重比的微型動力系統，第三條，大容積重量比的結構設計技術。第四條，飛行穩定性操縱性與控制技術。第五條，弱功率信號下的超視距遙控導航信息傳遞技術。第六條，多學科設計最佳化技術。第七條，基於微機電的加工與製造技術，微機電就是我們經常提到的MEMS技術。那么，這7條關鍵技術是我們歸納和總結出來的...
