《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》是為描述矽基MEMS加工過程中所涉及的納米厚度膜軸向抗拉強度原位試驗的要求和試驗方法而制定的標準。
2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。
基本介紹
- 中文名：微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法
- 頒布時間：2023年8月6日
- 實施時間：2023年12月1日
- 發布單位：國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會
檔案發布
2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。
內容摘要
