《微機電系統》是2021年西北工業大學出版社出版的圖書。
基本介紹
- 中文名：微機電系統
- 出版時間：2021年6月1日
- 出版社：西北工業大學出版社
- ISBN：9787561276761
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《微機電系統（第2版 微機電系統工程系列教材）》是在教育部對研究生推薦教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結合微機電系統（MEMS）領域新的研究成果編著而成的。全書分為6章，分別介紹了MEMS發展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計技術，以及典型微器件與微系統和微測試技術。在介紹微加工工藝方面，該書結合大量工藝實例，易於學生理解，有助於提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源於實驗室的課題研究實例，內容充實新穎。
《微機電系統（第2版 微機電系統工程系列教材）》可以作為高年級本科生和研究生學習微機電系統相關課程的教材，也可供工程技術等專業人員參考。
圖書目錄
第1章 緒論
1．1 微機電系統的定義
1．2 微機電系統的發展歷程
1．3 微機電系統的主要研究內容
1．3．1 基礎理論研究
1．3．2 支撐技術研究
1．3．3 套用技術研究
1．4 微機電系統的國內外研究及產業化現狀
習題與思考題
參考文獻
第2章 微機電系統理論基礎
2．1 尺度效應
2．1．1 尺度效應對材料性能的影響
2．1．2 尺度效應對黏附特性的影響
2．1．3 尺度效應對靜電特性的影響
2．1．4 尺度效應對流體系統的影響
2．1．5 尺度效應對電學特性的影響
2．1．6 尺度效應對熱傳導的影響
2．2 材料基礎
2．2．1 矽材料
2．2．2 矽化合物
2．2．3 壓電材料
2．2．4 形狀記憶合金
2．2．5 超磁致伸縮材料
2．2．6 電流變體與磁流變體
2．2．7 有機聚合物材料
2．2．8 紙基材料
2．3 力學基礎
2．3．1 微梁
2．3．2 壓膜阻尼
2．3．3 滑膜阻尼
2．3．4 質量塊-彈簧-阻尼系統
習題與思考題
參考文獻
第3章 微機電系統設計
3．1 MEMS集成設計
3．1．1 系統級設計
3．1．2 器件級設計
3．1．3 工藝級設計
3．1．4 典型器件設計實例
3．2 版圖設計
3．2．1 光刻掩膜版及其製備
3．2．2 版圖設計工具
3．2．3 版圖總體設計
3．2．4 對準標記設計
3．2．5 覆蓋關係設計
3．2．6 版圖繪製技巧
習題與思考題
第4章 微機電系統製造基本工藝
4．1 引言
4．2 光刻
4．2．1 光刻基本原理
4．2．2 製版
4．2．3 脫水烘
4．2．4 塗膠
4．2．5 軟烘
4．2．6 對準
4．2．7 曝光
4．2．8 中烘
4．2．9 顯影
4．2．10 堅膜
4．2．11 鏡檢
4．2．12 去膠
4．3 濕法腐蝕
4．3．1 矽的各向同性濕法腐蝕
4．3．2 矽的各向異性濕法腐蝕
4．3．3 二氧化矽的濕法腐蝕
4．3．4 氮化矽的濕法腐蝕
4．3．5 鋁的濕法腐蝕
4．3．6 其他材料的濕法腐蝕
4．4 乾法刻蝕
4．4．1 等離子基礎
4．4．2 電漿的產生
4．4．3 濺射刻蝕
4．4．4 等離子刻蝕
4．4．5 反應離子刻蝕
4．4．6 深度反應離子刻蝕
4．5 氧化
4．5．1 氧化設備
4．5．2 Deal-Grove氧化模型
4．6 摻雜
4．6．1 熱擴散摻雜
4．6．2 離子注入摻雜
4．7 化學氣相沉積
4．7．1 低壓化學氣相沉積LPCVD
4．7．2 等離子增強化學氣相沉積：PECVD
4．7．3 金屬有機化學氣相沉積MOCVD
4．7．4 原子層沉積ALD
4．8 物理氣相沉積
4．8．1 真空蒸鍍
4．8．2 濺射鍍膜
4．9 剝離
4．9．1 單層膠氯苯處理法
4．9．2 雙層膠法
4．9．3 圖形反轉膠法
4．9．4 其他方法
習題與思考題
參考文獻
第5章 微機電系統測試
5．1 引言
5．2 工藝參數測試
5．2．1 方塊電阻測試
5．2．2 結深測量
5．2．3 透明薄膜的厚度測量
5．2．4 台階測量
5．2．5 掃描電子顯微鏡測量
5．2．6 原子力儀測量
5．2．7 殘餘應力測量
5．3 器件性能測試
5．3．1 雷射都卜勒測量
5．3．2 頻閃顯微干涉測量
習題與思考題
參考文獻
第6章 典型微機電器件及系統
6．1 引言
6．2 微感測器
6．2．1 微加速度計
6．2．2 微機械陀螺
6．2．3 微壓力感測器
6．2．4 微麥克風
6．2．5 微氣體感測器
6．2．6 微流量感測器
6．2．7 微觸覺感測器
6．2．8 微紅外探測器
6．2．9 剪應力感測器
6．3 微執行器
6．3．1 微變形鏡
6．3．2 微光學濾波器
6．3．3 微泵
6．3．4 微馬達
6．3．5 微諧振器
6．3．6 微噴
6．3．7 微夾鉗
6．3．8 射頻開關
6．3．9 可程式光柵
6．3．10 微繼電器
6．4 微能源裝置
6．4．1 微型電池技術
6．4．2 微能源收集技術
6．5 典型微系統
6．5．1 微型飛行器
6．5．2 慣性測量微系統
6．5．3 微光學系統
6．5．4 仿生微納功能表面蒙皮系統
6．5．5 生物醫學微系統
習題與思考題
參考文獻
