納米微機電系統，在系統特徵尺寸和效應上具有納米技術特點的一類超小型機電一體的系統。是20世紀90年代末提出的一個概念。特徵尺寸在亞納米到數百納米，以納米級結構所產生的新效應（量子效應、界面效應和納米尺度效應）為工作特徵。
基本介紹
- 中文名：納米微機電系統
- 提出年代：20世紀90年代末
納米微機電系統，在系統特徵尺寸和效應上具有納米技術特點的一類超小型機電一體的系統。是20世紀90年代末提出的一個概念。特徵尺寸在亞納米到數百納米，以納米級結構所產生的新效應（量子效應、界面效應和納米尺度效應）為工作特徵。
納米微機電系統，在系統特徵尺寸和效應上具有納米技術特點的一類超小型機電一體的系統。是20世紀90年代末提出的一個概念。特徵尺寸在亞納米到數百納米，以納米級結構所產生的新效應（量子效應、界面效應和納米尺度效應）為工作特徵。...
NEMS納機電系統(Nano-Electromechanical System,簡稱NEMS)是20世紀90年代末、21世紀初提出的一個新概念。可以這樣來理解這個概念，即NEMS是特徵尺寸在1~100nm、以機電結合為主要特徵，基於納米級結構新效應的器件和系統。簡介 微機電系統是...
微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智慧型系統。微機電系統是在微電子技術（...
是指在特徵尺寸和效應上具有納米技術特點的一類超小型機電一體化研究領域，包括特徵尺寸在亞納米到數百納米並以納米級結構所產生的量子效應、界面效應和以納米尺度效應為工作特徵的器件和系統，例如納米尺度上的機械設備、電子器件、計算機和...
《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法》是為描述矽基MEMS加工過程中所涉及的納米厚度膜軸向抗拉強度原位試驗的要求和試驗方法而制定的標準。2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法...
《納機電系統》是2018年4月機械工業出版社出版的圖書，作者是勞倫·特拉夫格。內容簡介 本書介紹了MEMS（微機電系統）向NEMS（納機電系統）的演變、NEMS的相關理論和技術以及相關的前沿研究。書中內容主要討論了NEMS的機電特性、尺度效應...
《微機電系統(MEMS) 元器件、電路及系統集成技術和套用》是2020年機械工業出版社出版的圖書，作者是維卡斯·喬杜里（Vikas Choudhary）。內容簡介 本書共19章，分為兩大部分:第1～9章為突破性技術部分，討論各類新型微機電系統（MEMS）...
工程製圖、機械設計基礎、工程材料及成型技術、機械製造技術基礎、液壓與氣動、控制工程基礎、機電傳動與控制、單片機原理與接口技術、Python語言程式設計基礎、微納米新材料、機器視覺技術、微機械與微細加工技術、微機電系統設計、微納米測量...
微機電系統(MEMS)技術的發展突飛猛進，涵蓋的領域日漸寬廣，市場前景及對國民經濟的影響日益廣闊，人們對其原理、特性及規律的研究和認識也日趨深入。微機電系統的特徵尺寸在微納米範圍，尺度上存在特殊性。但它並不是巨觀機電系統的簡單...
《微機電系統(MEMS)製造技術》是2014年科學出版社出版的圖書，作者是苑偉政、喬大勇。內容簡介 本書共9章，分別介紹了MEMS製造技術發展歷程和發展趨勢、MEMS製造材料基礎、MEMS製造中的沾污及潔淨技術、MEMS製造中的圖形轉移技術、濕法腐蝕與...
微機電一體化技術是介觀物理、混沌物理、量子力學等科學和計算機、電信技術、納米技術及超微細加工等技術互相融合的先進科技，21世紀科學技術發展的前沿領域，介紹微機電一體化系統的概念、製造與套用及其需要深入研究的科研課題。與此相關的...
微慣性導航系統（Micro-INS，Micro-Inertial-Navigation System）簡稱“微慣導”，是一種基於微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）感測器技術的微型慣性導航系統。慣性導航系統（INS，Inertial Navigation System）是一種不依賴...
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微機電系統（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術等密切相關，具有體積小、精度高、重量輕、性能可靠穩定、能耗低、靈敏度高、工作效率高，以及多功能智慧型化和適於大批量生產，成本低廉等一...
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微小型武器是20世紀90年代美國等先進工業國家開始發展的新概念武器，它不但在基礎理論、設計、製造與計量測試技術等方面是革命性創新，而且對21世紀戰爭的模式將會帶來變革性的影響。技術內涵 基於微米、納米、微機電系統技術發展起來的微小型...