《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法》是為適用於採用微電子工藝製造的納尺度結構在一次衝擊負荷作用下的耐衝擊性能的測試而制定的標準。
2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。
基本介紹
- 中文名：微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法
- 頒布時間：2023年8月6日
- 實施時間：2023年12月1日
- 發布單位：國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會
檔案發布,內容範圍,
檔案發布
2023年8月6日，《微機電系統(MEMS)技術矽基MEMS納尺度結構衝擊試驗方法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2023年12月1日實施。
