微光機電系統(國防工業出版社出版的書籍)

《微光機電系統》是國防工業出版社2010年出版的書籍。

基本介紹

• 中文名：微光機電系統
• 作者： 莫塔麥迪
• 出版時間：2010年
• 出版社：國防工業出版社
• 頁數：510
• ISBN：9787118063653 
• 定價：68
• 字數：659

內容簡介

近代光學和光電子技術的迅速發展使光電子儀器及其元件（包括光學元件和機械零件）發生了巨大的變化，最重要的變化之一是從巨觀概念發展到微觀概念，因此，形成了不同的微光學儀器研究領域：微光學系統（Micro-Optics）、微機電系統（MEMS）和微光機電系統（MOEMS）。

微光學元件是套用現代微加工技術，例如光學蝕刻技術、雷射束直寫和電子束直寫以及反應離子束蝕刻技術製造出的一類光學零件，一般地，這種元件的外形尺寸是微米數量級。微光學元件包括衍射和折射兩種，例如微透鏡、微反射鏡、微扇出光柵、最佳相位元件和偏振器等，已經成為實現（而利用傳統的光學元件不可能實現或者是不現實的）各種光學功能的強有力工具，幾乎在所有的工程套用領域中，特別是在現代國防科學技術領域中有重要的套用價值和廣闊的套用前景。與傳統的光學元件相比，微光學元件最大的優點就是可以將大的複雜光學系統集成為非常緊湊的形式，使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化，因此，微光學元件是製造小型或超小型光電子系統的關鍵元件。

圖書目錄

第1章 概述

1.1 積體電路和微加工技術的發展

1.2 微機電系統的發展

1.3 微光學的最新發展

1.4 MEMS中的微光學：MOEMS回顧

1.4.1 光學開關的新發展

1.4.2 可調諧濾光片和波分復用技術（WDMs）

1.4.3 數字反射鏡裝置

1.4.4 MOEMS掃描器

1.4.5 電信領域中的MOEMS技術

1.5 微系統：術語和範圍

1.5.1 世界範圍內MEMS和MOEMS的活動

1.5.2 世界範圍內的MEMS和MOEMS學科

1.5.3 MEMS和MOEMS的世界市場

1.6 本書涵蓋的內容

參考文獻

第2章 微機械加工技術

2.1 概述

2.2 散體微加工技術

2.2.1 濕散體微加工技術

2.2.2 乾散體微加工技術

2.3 深X射線平版印刷術（DXRL）

2.4 表面微加工技術

2.5 與CMOS兼容的MEMS和MOEMS

2.6 以半導體複合材料為基礎的MEMS和MOEMS

2.7 MOEMS套用中與光學有關的問題

問題與練習

參考文獻

第3章 微光學

3.1 概述

3.2 微光學發展史

3.3 光束通過微結構和納米結構的偏轉

3.3.1 折射和衍射微光學元件

3.3.2 模擬折射率材料

3.3.3 光子晶體

3.3.4 諧振濾光片

3.3.5 對輪廓形狀的要求

3.4 二元和多階光學元件

3.4.1 目的

3.4.2 二元光學結構的加工

3.4.3 多階結構的加工

3.5 連續面浮雕結構的加工技術

3.5.1 平版印刷技術

3.5.2 表面輪廓轉印到光學材料內

3.6 結論

問題與練習

參考文獻

第4章 致動器和感測器

4.1 概述

4.1.1 微致動器

4.1.2 與MOEMS有關的感測器

4.1.3 本章的內容

4.2 靜電致動器

4.2.1 背景

4.2.2 共面致動技術

4.2.3 異面致動技術

4.2.4 三維致動技術

4.3 熱致動器

4.3.1 基本原理

4.3.2 共面致動技術

4.3.3 異面致動技術

4.3.4 三維致動技術

4.4 形狀記憶致動器

4.4.1 基礎知識

4.4.2 共面致動技術

4.4.3 異面致動技術

4.4.4 三維致動技術

4.5 壓電致動器

4.5.1 基礎知識

4.5.2 共面致動技術

4.5.3 異面致動技術

4.5.4 三維致動技術

4.6 磁性致動器

4.6.1 基礎知識

4.6.2 共面致動技術

4.6.3 異面致動技術

4.6.4 三維致動技術

4.7 與MOEMS有關的感測器

4.7.1 位移感測器

4.7.2 化學感測器

4.7.3 螢光探測感測器

4.7.4 慣性感測器：加速度計

4.7.5 壓力感測器

問題與練習

參考文獻

第5章 微光學元件，測試和套用

5.1 微光學元件

5.1.1 微光學透鏡

5.1.2 液晶光學元件

5.1.3 光束成形光學元件

5.2 微光學測試

5.2.1 光學輪廓測量

5.2.2 表面偏離的測量

5.2.3 波像差測量

5.3 微光學的套用

5.3.1 光束控制

5.3.2 微透鏡和焦平面陣列（FPA）的集成

問題與練習

參考文獻

第6章 纖維光學系統

6.1 概述

6.2 基礎知識

6.2.1 光纖類型

6.2.2 纖維光學元件的關鍵參數

6.2.3 光纖或波導的直接移動

6.2.4 平行光束中的控制

6.3 光纖準直器及其陣列

6.3.1 光纖陣列

6.3.2 微透鏡陣列的要求

6.3.3 微透鏡陣列的製造

6.3.4 光纖陣列和微透鏡陣列的安裝技術

6.4 安裝有MOEMS的纖維光學元件

6.4.1 可變光學衰減器

6.4.2 動態增益和通道均衡器

6.4.3 光學纖維開關

6.4.4 可調諧光源和濾光片

6.5 總結

問題與練習

參考文獻

第7章 光學掃描

7.1 概述

7.2 光學掃描器的工作原理及其分類

7.3 機械掃描系統

7.3.1 傾斜微反射鏡

7.3.2 透鏡掃描器

7.3.3 微電機掃描器

7.3.4 安裝有槓桿平衡機構的反射鏡

7.3.5 採用表面微加工技術製造出的反射鏡

7.4 多維掃描

……

第8章 顯示和成像系統

第9章 自適應光學

第10章 MEMS和MOEMS的計算機輔助設計及模擬

第11章 MEMS和MOEMS的封裝

第12章 MEMS和MOEMS材料

書中縮略語注釋