超高分辨掃描電鏡

超高分辨掃描電鏡是一種用於數學領域的分析儀器，於2005年2月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高分辨掃描電鏡
• 產地：荷蘭
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2005年2月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

型號：Sirion 200 加速電壓：200V－30KV； 解析度：10KV，1.5nm；1KV，2.5nm；EDAX 能譜儀：133eV，Be－U。 熱場發射電子槍，配能譜儀，可用於各種固體材料的表面形貌分析與測量；用於材料的化學成份及相關成份分析。

主要功能

熱場發射電子槍，配EDAX能譜儀，高真空,系統穩定性好,解析度高,可用於各種固體材料和器件的表面形貌分析與測量；以及材料的化學成份及相關成份分析。低電壓性能穩定,特別適用於單壁碳納米管等半導體材料的形貌表征.二次電子像有HR，UHR兩種解析度模式，能譜分析包括成分的點，線分布，面分布分析等。