微波電漿化學汽相沉積系統

微波電漿化學汽相沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年1月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：微波電漿化學汽相沉積系統
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年1月12日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

微波功率6kw。

主要功能

超寬頻隙半導體材料生長。