多功能磁控濺射系統是一種用於化學、材料科學領域的分析儀器，於2006年5月24日啟用。
基本介紹
- 中文名：多功能磁控濺射系統
- 產地：中國
- 學科領域：化學、材料科學
- 啟用日期：2006年5月24日
- 所屬類別：分析儀器 > 電化學儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
主濺射室=￠560*280MM。
主要功能
製備功能性薄膜。
多功能磁控濺射系統
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