柔性襯底磁控濺射系統

柔性襯底磁控濺射系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器，於2015年10月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：柔性襯底磁控濺射系統
• 產地：中國
• 學科領域：信息科學與系統科學
• 啟用日期：2015年10月10日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

柔性襯底沉積功能薄膜，不對襯底永舉造成破慨恥乃壞。

主要功能

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