磁控濺射系統功能擴充部件

磁控濺射系統功能擴充部件是一種用於能源科學技術領域的工藝試驗儀器，於2015年6月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：磁控濺射系統功能擴充部件
• 產地：中國台灣
• 學科領域：能源科學技術
• 啟用日期：2015年6月5日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

ITO薄膜均勻性:200nm＜±5%(across 150mm)；Cr薄膜均勻性:200nm＜±5%(across 150mm)。

主要功能

薄膜製備。