半導體特性測量系統

半導體特性測量系統是一種用於材料科學領域的物理性能測試儀器，於2012年06月06日啟用。

基本介紹

• 中文名：半導體特性測量系統
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2012年06月06日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

該儀器具有四個源測量單元（SMU），其中包括三個0.1fA的高解析度SMU和一個1A的大功率SMU。

主要功能

各種微米和納米器件的電學性能測試。