HMS系列霍爾效應測量系統

HMS系列霍爾效應測量系統產品概述

原產於韓國的HMS系列霍爾效應測量系統產品主要由恆電流源、范德堡法則終端轉換器、低溫(77K)測量系統及磁場強度輸入系統組成，擁有研究半導體材料霍爾效應所有的部件和配置，是一套非常成熟的儀器系統。同時HMS系列儀器獲得多項霍爾效應測量系統、測量方法的專利，代表了霍爾效應測量的全球品質及合理的產品價格，並為全球客戶所認可。該產品2004年7月通過CE認證。

HMS系列霍爾效應測量系統產品用途

用於測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾係數等重要參數，而這些參數是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的，因此霍爾效應測試儀是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性必備的工具。

HMS系列霍爾效應測量系統產品特性

可靠的精度及重現性

恆電流源(1nA~20mA)採用六級電流範圍設定，將可以接收的誤差降到最低；范德堡法則轉換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲；軟硬體有針對性的設計，確保每個實驗數據均為多次測試的平均值，使儀器擁有非常好的數據重現性。

產品小型化及操作簡單化

小尺寸的磁場強度輸入系統使用永磁體和液氮低溫測量系統(77K)，確保儀器操作非常簡單；兩種不同尺寸的傳統樣品板(20*20mm、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測量，區別於傳統樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極製作更方便且對樣品損傷更小。

I-V曲線及I-R曲線測量

採用圖表的方式，測量探針四點(A、B、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關係，並以此評判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學特性。

多樣的實驗結果

實驗結果由軟體自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾係數(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。

HMS系列霍爾效應測量系統產品規格

1、主要實驗參數

輸入電流	電阻率 (?.㎝)	載流子濃度 (1/cm)	遷移率 (cm/Volt.sec)	磁場強度 (Tesla)	溫度 (K)	樣品測量板
1nA – 20mA	10 - 10	10 – 10	1 - 10	0.37 0.55 1	77 300	PCB樣品板 (6×6mm,20×20mm) SPCB 彈簧片樣品板

2、軟體操作環境 Windows 98 / ME / 2000 / NT / XP環境下

3、實驗結果

體載流子濃度、表面載流子濃度；

遷移率、霍爾係數；

電阻率；

磁致電阻；

電阻的縱橫比率；

4、儀器尺寸和重量

主機尺寸：360×300×105 mm (W×H×D)

磁體Kit尺寸：200×120×110 mm (W×H×D)；