S530低電流系統利用高性能開關矩陣控制測量儀器與測試引腳之間的信號傳輸，實現了一直到探針引腳的亞皮安級測量解析度和低電流防護。
基本介紹
- 中文名：S530參數測試系統
- 開發公司：吉時利儀器公司
- 優點：高速、經濟有效
- 功能：使S530產生寬範圍的器件測試波形
概述,套用配置,套用功能,套用選件,選擇系統,
概述
吉時利儀器公司增強半導體行業性價比最高的高速生產參數測試方案——S530參數測試系統的功能。由於有吉時利測試環境軟體(KTE V5.4）的支持，S530目前配置為48引腳全Kelvin開關以及脈衝發生、頻率測量和低電壓測量的新型集成選件。這些新增強的功能幫助S530系統實現了更寬範圍的生產參數測試套用和高速、經濟有效的測試方案。
S530參數測試系統套用配置
48引腳全Kelvin開關配置
目前，此系統的最新功能增強支持48引腳全Kelvin（4線式）開關配置，使以前提供的全Kelvin引腳數量翻番。通過保持與全Kelvin開關和連線有關的信號完整性，同時將系統最大引腳數翻番，S530結合了精密高速測量和增強的系統配置靈活性以確保未來的全面測試覆蓋。
套用功能
環路振盪器選件的測量功能
一種新的高速、高解析度示波器選件支持寬頻測量範圍上的環路振盪器測試。該新系統選件以高達400兆採樣/秒的採樣速率實現了從大約10kHz至20MHz的測量。隨著越來越多的半導體晶圓廠已將環路振盪器納入整個過程控制監測測試結構中，參數測試系統的頻率測量功能變得日益重要。
脈衝發生選件的功能
隨著更多的積體電路設計中引入了嵌入式存儲器例如快閃記憶體，半導體晶圓廠不斷將記憶體結構和測量加入過程控制監測程式，這些器件的測試要求輸出用戶定義的電壓脈衝來設定和擦除記憶體單元，再進行器件的精密直流測量。為滿足此需求，把現在放置電容-電壓(C-V)儀器卡的相同子系統機箱集成2通道、4通道或6通道脈衝發生功能至S530的配置中，使S530產生寬範圍的器件測試波形並增強系統靈活性。
套用選件
系統DMM選件
作為過程控制監測的一部分，測試范德堡和金屬結構要求結合低壓測量、高測量解析度和卓越的可重複性。對於這些套用而言，S530系統現提供專為低壓測量最佳化的7位半、低噪聲數字萬用表選件。它在最低量程（100mV）上具有10nV解析度，在次低量程（1V）上具有100nV解析度，同時具有7ppm直流電壓可重複性。
選擇系統
選擇低電流或高電壓系統
有兩種不同配置的S530系統。S530低電流系統適於測量亞域值漏電、柵漏電等特性。S530高壓系統包含的源測量單元（SMU）能輸出高達1000V@20mA（20W最大值）至任意系統引腳。此版本最佳化了GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的難度較大的故障測試和漏電測試。雖然新的48針Kelvin開關是低電流系統的獨特功能,但所有新的量測選項都可搭配於這兩個系統。
