光譜橢偏儀

光譜橢偏儀是一種用於物理學、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2011年12月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：光譜橢偏儀
• 產地：法國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2011年12月26日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器 > 光偏振態分析儀

技術指標

波長範圍190-2000nm,建模自動擬合,測量膜厚\折射率\帶隙\消光係數等。

主要功能

半導體、金屬材料等的光學參量檢測等。