線上光譜型橢偏儀

線上光譜型橢偏儀是一種用於物理學、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2013年09月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：線上光譜型橢偏儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年09月10日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器 > 光偏振態分析儀

技術指標

245nm--1680nm，自動變角。

主要功能

實時監測薄膜生長過程中的光學參量。