雷射橢偏儀

雷射橢偏儀，通常雷射光源的功率和波長可選。在測量過程中，需要以獲得橢偏數據，並對橢偏數據模擬分析從而得到測量結果，如薄膜厚度、光學常數以及材料微結構測量等。

基本介紹

• 中文名：雷射橢偏儀
• 是指採用：單一波長的雷射作為測量光源
• 做：變角度測量
• 可以測量：單晶電池片、多晶電池片

套用

■晶矽太陽能電池絨面上的減反膜測量。

■

■可以測量拋光片，精確度和準確度極高■可以測量粗糙表面的“絨片”

雷射橢偏儀

■適用於對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量

■可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數（偏振因數）進行測量和評估，提高測量精度

優點和缺點

■ 優點：相對於光譜型橢偏儀，雷射單波長橢偏儀比較簡單，由於不需要單色儀，四分之一玻片也可以根據波長固定，光學元件也可以針對特定波長進行設計，所以價格相對便宜，同時測量精度較高。

■缺點：對多層膜分析能力不足，不如光譜型橢偏儀。