紅外光譜型橢偏儀

紅外光譜型橢偏儀是一種用於能源科學技術領域的分析儀器，於2012年9月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：紅外光譜型橢偏儀
• 產地：美國
• 學科領域：能源科學技術
• 啟用日期：2012年9月29日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 紅外光譜儀

技術指標

IR-VASE型紅外光譜橢偏儀為旋轉補償器（RCE）式布置方式，主要由紅外光源、起偏器、旋轉補償器等部件組成，可測光譜範圍為1.7-30μm。在1-64cm-1範圍內共7種解析度可供選擇。 可測物理量為：固體材料（含薄膜）光學常數、斜入射光譜發射率、半透明介質光譜透射率、薄膜厚度等。與高溫樣品室及控溫模組組合使用時，可實現-70℃-600℃溫度範圍內的光譜橢偏測量。

主要功能

可測物理量為：固體材料（含薄膜）光學常數、斜入射光譜發射率、半透明介質光譜透射率、薄膜厚度等。與高溫樣品室及控溫模組組合使用時，可實現-70℃-600℃溫度範圍內的光譜橢偏測量。