紫外-近紅外光譜橢偏儀

紫外-近紅外光譜橢偏儀是一種用於能源科學技術領域的科學儀器，於2013年6月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：紫外-近紅外光譜橢偏儀
• 產地：美國
• 學科領域：能源科學技術
• 啟用日期：2013年6月2日

技術指標

紫外-近紅外光譜橢偏儀為旋轉補償器（RCE）式布置方式，主要由紅外光源、起偏器、旋轉補償器等部件組成，測試波長範圍為200-2500nm。在1-64cm-1範圍內共7種解析度可供選擇。 可測物理量為：固體材料（含薄膜）光學常數、斜入射光譜發射率、半透明介質光譜透射率、薄膜厚度等。

主要功能

可測物理量為：固體材料（含薄膜）光學常數、斜入射光譜發射率、半透明介質光譜透射率、薄膜厚度等。