光譜橢偏系統

光譜橢偏系統是一種用於力學、工程與技術科學基礎學科、生物學領域的分析儀器，於2018年3月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：光譜橢偏系統
• 產地：美國
• 學科領域：力學、工程與技術科學基礎學科、生物學
• 啟用日期：2018年3月8日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器

技術指標

測量橢圓參數（TANψ，COSΔ） 光學常數（n：折射率，k：消光係數）分析 薄膜厚度分析。

主要功能

材料/薄膜光學參數。