穆勒矩陣橢偏儀是一種用於信息科學與系統科學、力學、物理學、信息與系統科學相關工程與技術領域的分析儀器，於2017年11月23日啟用。
基本介紹
- 中文名：穆勒矩陣橢偏儀
- 產地：中國
- 學科領域：信息科學與系統科學、力學、物理學、信息與系統科學相關工程與技術
- 啟用日期：2017年11月23日
- 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 光譜範圍：覆蓋深紫外到近紅外波段200-1650nm； 2. 光斑大小：大光斑模式3mm，微光斑模式200μm； 3. 偏振調製技術：複合消色差波片雙旋轉調製； 4. 入射角：45-90°連續自動變角，變角精度優於0.01°； 5. 測量時間：1-10s； 6. 樣品台：最大支持200mm樣件，X/Y/Z/Rz、俯仰可調； 7. 找焦功能：自動找焦； 8. 橢偏測量能力：一次性測量16個全穆勒矩陣光譜、PSI/DELTA、N/C/S、反射率、透射率等光譜； 9. 重複性測量精度：優於0.005nm （100nm SiO2矽片，30次測量計算標準）； 10. 絕對精度（測量空氣）：橢偏參數優於Ψ=45±0.05° Δ=0±0.1°； 穆勒矩陣優於：對角元素m=1±0.005，非對角元素m=0±0.005； 11. 光譜分析軟體：具備多層各向同性/異性光學薄膜、周期性光柵結構建模仿真與分析功能。
主要功能
購置的穆勒矩陣橢偏儀可通過反射率、透射率、橢偏光譜、穆勒矩陣光譜等光譜信息採集，基於其光譜分析軟體可實現各種各向同性/各向異性微納薄膜、納米光柵結構等測量對象的幾何厚度、幾何關鍵尺寸等形貌信息以及材料光學特性信息提取。
