寬光譜穆勒橢偏儀是一種用於自然科學相關工程與技術領域的分析儀器，於2015年9月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：寬光譜穆勒橢偏儀
- 產地：中國
- 學科領域：自然科學相關工程與技術
- 啟用日期：2015年9月15日
- 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 紫外可見分光光度計
技術指標,主要功能,
技術指標
光譜範圍：193-1000nm（1000-1700nm可選），光譜解析度：0.5nm，測量時間：1-8s，入射角範圍：45-90度。
主要功能
通過覆蓋深紫外到近紅外波段的反射率、透射率、橢偏角、斯托克斯向量、穆勒矩陣等光譜測量，可分析各向同性、各向異性微納薄膜和微納米結構的光學常數、結構形貌等參數。面向單層或多層微納米薄膜結構，可實現以下參數或特性的同時測試分析，包括： 多層薄膜厚度（亞納米至數微米厚度）； 折射率和消光係數（nk）； 各向異性和雙折射特性參數（nx, ny, nz）； 能帶隙特性參數（Eg）； 薄膜表面粗糙度與薄膜不均勻性； 孔隙特性、合金（複合）材料組分、結晶度； 納米結構形貌參數（周期、線寬、線高、側壁角等）。 測試服務領域包括： 1、半導體：半導體薄膜，如介電/金...。
