步揚，男，中國科學院大學專任教師。
基本介紹
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人物經歷
工作經歷
1999-07~現在, 中國科學院上海光學精密機械研究所, 任職
社會兼職
2012-09-01-今,中國光學學會光學測試專業委員會委員, 委員
科研成果
專利成果
（ 1 ） 四通道時分復用大氣偏振檢測方法與系統, 發明, 2011, 第 2 作者, 專利號: 201010215238.8
（ 2 ） 全光纖大範圍位移測量儀, 發明, 2001, 第 2 作者, 專利號: ZL01126555.8
（ 3 ） 半導體雷射器光頻光強調製器, 發明, 2002, 第 2 作者, 專利號: ZL02112080.3
（ 4 ） Optical System For Measurement Of Illumination Pupil Polarization State Of Mask Aligner, 發明, 2016, 第 3 作者, 專利號: WO2016155426A1
（ 5 ） 寬光譜大視場顯微物鏡光學系統, 發明, 2019, 第 2 作者, 專利號: CN201611044908.8
（ 6 ） 光刻投影物鏡熱像差的快速仿真方法, 發明, 2019, 第 4 作者, 專利號: ZL201810603730.9
（ 7 ） 一種基於粒子群最佳化算法的晶圓曝光路徑規劃方法, 發明, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201710229617.4
出版信息
發表論文
（1） Micromirror array allocation algorithm based on deconvolution, Appl. Opt., 2020, 通訊作者
（2） Illumination field parameters measurement for lithographic illumination subsystem, Optik, 2020, 通訊作者
（3） Jones pupil metrology of lithographic projection lens and its optimal configuration in the presence of error sources, Opt. Express, 2019, 第 4 作者
（4） A simple system of swept source optical coherence tomography for a large imaging depth range, Optics Communications, 2019, 第 4 作者
（5） Predictor of thermal aberrations via particle filter for online compensation, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2019, 第 6 作者
（6） Research on LIBS quantitative analysis of heavy metal concentration in polluted water-based on Fourier self-deconvolution method, Proc. SPIE 11337, 2019, 通訊作者
（7） 光刻機掃描狹縫刀口半影寬度測量技術, 中國雷射, 2019, 通訊作者
（8） 基於光譜估計與多光譜技術的光學元件表面疵病檢測, 中國雷射, 2019, 通訊作者
（9） 穆勒矩陣成像橢偏儀誤差源的簡化分析方法, 光學學報, 2019, 第 4 作者
（10） 基於差分空間像主成分分析的偏振像差檢測方法, 光學學報, 2019, 第 4 作者
（11） Passively Driven Probe Based on Miniaturized Propeller for Intravascular Optical Coherence Tomography, Scientific reports, 2018, 第 4 作者
（12） Calibration method of overlay measurement error caused by asymmetric mark, Appl. Opt., 2018, 第 3 作者
（13） Modeling and optimization of lens heating effect for lithographic projector, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018, 第 5 作者
（14） Prediction of lens heating induced aberration via particle filter in optical lithography, Proc. SPIE 10587, Optical Microlithography XXXI, 2018, 第 6 作者
（15） 偏振頻域OCT系統光譜錯位分析及光譜校準, 中國雷射, 2018, 第 4 作者
（16） 一種基於固定光程差干涉信號的光學相干層析成像光譜標定方法, 中國雷射, 2018, 第 4 作者
（17） 基於多光譜技術的光學元件表面疵病檢測, 中國雷射, 2017, 通訊作者
（18） 基於自相干莫爾條紋的光刻機對準技術研究, 中國雷射, 2017, 第 3 作者
（19） Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry, Appl. Opt., 2017, 第 3 作者
（20） Automatic spectral calibration for polarization-sensitive optical coherence tomography, Opt. Express, 2017, 第 4 作者
（21） Monocular Vision-Based Underwater Object Detection, Sensors, 2017, 第 4 作者
（22） Depth-dependent dispersion compensation for full-depth OCT image, Opt. Express, 2017, 第 4 作者
（23） 基於多光譜技術的光學元件表面疵病檢測, 中國雷射, 2017, 第 2 作者
（24） Zernike polynomials as a basis for modal fitting in lateral shearing interferometry: a discrete domain matrix transformation method, Appl. Opt., 2016, 第 3 作者
（25） Nonsubsampled contourlet transform method for optical fringe pattern analysis in profilometry and interferometry, Appl. Opt., 2016, 第 4 作者
（26） Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry, Optics Communications, 2016, 第 3 作者
（27） 偏振正交誤差對偏振光導航定位系統測量精度的影響, Effect of Polarization Analyzers Perpendicular Error on Measurement Accuracy of Polarization Position System, 中國雷射, 2011, 第 2 作者
（28） 基於米氏散射理論的太陽光散射偏振特性, Skylight Polarization Patterns Based on Mie Theory for Scattering, 中國雷射, 2010, 第 2 作者
（29） 太陽光大氣散射的散射角與偏振度關係的研究, Relations between skylight scattering angle and degree of polarization under different sky conditions, Chinese Optics Letters, 2010, 第 2 作者
（30） 基於視覺仿生原理的四通道時分復用大氣偏振檢測技術, Four-Channel Time Division Multiplexing Atmospheric Polarization Measurement Technique Based on Vision Bionics, 中國雷射, 2010, 第 2 作者
（31） 基於頻域相位共軛技術的光纖偏振信號的失真抑制, 中國科學G輯：物理學 力學 天文學, 2008, 第 1 作者
（32） Control of polarization signal distortion by frequency domain phase conjugation in optical fiber systems, Sci China Ser G-Phys Mech Astron, 2008, 第 1 作者
科研項目
（ 1 ） 寬光譜大視場顯微成像光學系統的研發, 主持, 國家級, 2011-01--2013-12
（ 2 ） XXXX, 參與, 國家級, 2009-07--2013-12
（ 3 ） XXX, 主持, 國家級, 2009-01--2010-12
（ 4 ） 光學材料與光學元件亞表面缺陷檢測儀的研製, 主持, 省級, 2008-07--2010-07
（ 5 ） 實時納米精度面形干涉測量儀, 參與, 省級, 2005-10--2007-12
（ 6 ） 90nm光刻機照明系統多參數檢測技術研究, 主持, 國家級, 2009-07--2017-12
（ 7 ） 浸沒式光刻機照明系統多參數檢測裝置, 主持, 國家級, 2016-01--2020-12
（ 8 ） 基於微區RS和LIBS的中藥材殘留化合物與重金屬成份檢測樣機的研製, 主持, 省級, 2018-07--2020-06
