紅外橢偏儀

紅外橢偏儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2013年12月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：紅外橢偏儀
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2013年12月23日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 紅外光譜儀

技術指標

·Wavelength range: 400 cm-1-6000 cm-1 ;·Separate ellipsometer optics, ellipsometer uses external port of FT-IR instrument ;·Complete accessible FT-IR spectrometer ;·Large samples, maximal sample size 200 mm diameter, maximal sample height 8 mm ;·Ellipsometric, transmission and reflection measurements with polarized light ;·Variable incident angle of light (VASE) ;·SENTECH comprehensive software for spectroscopic ellipsometry SpectraRay。

主要功能

測量薄膜厚度。