成像橢偏儀

成像橢偏儀是一種用於機械工程領域的儀器，於2017年5月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：成像橢偏儀
• 產地：德國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2017年5月15日

技術指標

圖像寬度：400μm;橫向解析度：＜1μm;入射角範圍：38°~90°;角度解析度：0.001°;絕對角解析度：0.01°。

主要功能

對超薄膜的可視化分析測試，可測量薄膜厚度、折射率和吸收係數等參數。用於研究固/液截面分析，液/液界面分析等領域。