光譜式橢偏儀是一種用於物理學、化學領域的分析儀器，於2013年01月06日啟用。
基本介紹
- 中文名：光譜式橢偏儀
- 產地：匈牙利
- 學科領域：物理學、化學
- 啟用日期：2013年01月06日
- 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線衍射儀
技術指標,主要功能,
技術指標
光譜範圍：深紫外，可見光，近紅外（190nm~2400nm）波長解析度：全譜段要求不大於0.5nm厚度測量範圍:1nm-10um,厚度測量精度:0.1A微光斑全自動操作。
主要功能
測量各類（包括電介質、有機物、半導體、金屬等）薄膜（包括透明基底上的透明薄膜）的膜厚及介電常數（n，k）、組分比等；對材料的各向異性、多層膜、膜層緻密性、多孔材料、高分子薄膜等特殊結構的材料具有光學性能的分析能力，可以測量薄膜的反射率、透射率、各向異性、雙折射、散射、偏振、Muller矩陣等。
