偏振分析儀

偏振分析儀

偏振分析儀是一種用於材料科學領域的電子測量儀器,於2010年03月01日啟用。

基本介紹

  • 中文名:偏振分析儀
  • 產地:美國
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2010年03月01日
  • 所屬類別:電子測量儀器 > 通用電子測量儀器 > 頻譜分析儀
技術指標,主要功能,

技術指標

可以實現從500nm到1500nm波長範圍的快速精確橢偏測量。厚度範圍從1nm到2um,入射角從0°到90°可調,採用氙燈光源。採用專用的光譜橢偏測量軟體。

主要功能

VB-400 Vase Ellispometer橢偏儀是JA.WollamCO.,Inc公司生產的一套高性能光譜測量儀,可測量單層與多層膜、界面、極薄與極厚膜的厚度與光學參數。厚度範圍從1nm到2um,入射角從0°到90°可調,採用氙燈光源,光譜解析度1.5nm。採用專用的光譜橢偏測量軟體。

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