高精度橢圓偏振光譜儀

高精度橢圓偏振光譜儀是一種用於物理學、自然科學相關工程與技術、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2017年11月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：高精度橢圓偏振光譜儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、自然科學相關工程與技術、材料科學
• 啟用日期：2017年11月2日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器 > 光偏振態分析儀

技術指標

光譜測量範圍從200-1700nm； 光斑直徑達300um； 測量角度自動/手動調節； 樣品台自動升降。

主要功能

測量薄膜厚度，光學常數以及材料微結構特性。