光譜型橢圓偏振儀是一種用於物理學、化學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2011年7月14日啟用。
基本介紹
- 中文名：光譜型橢圓偏振儀
- 產地：德國
- 學科領域：物理學、化學、工程與技術科學基礎學科、材料科學
- 啟用日期：2011年7月14日
- 所屬類別：物理性能測試儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
波長範圍：245nm～1000nm； 入射角範圍：75°或入射角在45°到90°手動/自動連續可調； 樣品尺寸：10×10mm～150×150mm，滿足薄膜樣品厚度1nm～5 μm的測量，同時滿足10nm以下超薄膜的測量；。
主要功能
用於測量單層或多層薄膜厚度d；單層或多層薄膜各層折射率n 及消光係數k；同時分析不同溫度和不同波長對樣品光學係數的影響。能實時獲取納米薄膜的表面或界面信息。
