橢偏光譜儀

橢偏光譜儀是一種用於自然科學相關工程與技術領域的物理性能測試儀器，於2015年06月04日啟用。

基本介紹

• 中文名：橢偏光譜儀
• 產地：日本
• 學科領域：自然科學相關工程與技術
• 啟用日期：2015年06月04日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器 > 光偏振態分析儀

技術指標

掃描波長190nm~2100nm; 標準片測量偏差-0.23A 折射率偏差-0.002 變角度測量。

主要功能

測量薄膜材料的折射率、折射率、吸收係數。